[实用新型]一种晶圆矫正装置

说明书

本实用新型提供了一种晶圆矫正装置，包括支架、四个矫正推杆、滑轨和驱动单元；所述支架用于支撑所述矫正推杆和所述滑轨；滑轨安装在支架上；四个矫正推杆围绕四列卡槽设置，每列卡槽的开口位置分别设置一个矫正推杆；每个矫正推杆均包括矫正部，矫正部与每列卡槽平行，四个矫正推杆的矫正部与其自身最近的一列卡槽之间的距离均相等；每个矫正推杆的至少一端安装在一个滑轨上，驱动单元与四个矫正推杆连接，驱动单元用于控制四个矫正推杆同时向卡匣的中心线靠拢或同时远离卡匣的中心线。通过矫正推杆可以对卡匣内的晶圆的位置进行矫正；这样缩短了晶圆的矫正时间，不存在安全风险，并且不污染晶圆。

技术领域

本实用新型涉及离子注入机技术领域，特别涉及一种晶圆矫正装置。

背景技术

在晶圆制造过程中，需要使用离子注入机，离子注入机包括前置晶圆传送腔，前置晶圆传送腔是大气与机台高真空环境的过渡腔室。例如，如图1所示，型号为瓦里安的离子注入机拥有两个前置晶圆传送腔，每个前置晶圆传送腔有一个25层的卡匣1(cassette，卡匣)，卡匣1用于存放晶圆2，卡匣1包括四列卡槽101，四列卡槽101从四个方向固定晶圆2，每层的卡槽101上可以放一个晶圆2。

如图2所示，正常情况下，每个晶圆1的中心线和卡匣1的中线是重合的或者很接近。当出现异常时，如图3所示，晶圆2被机械手传到前置晶圆传送腔内的卡匣1后，可能会传偏，位于卡匣四周的激光传感器侦测到晶圆偏出时，激光传感器立刻触发机台安全联锁机构使机台停止跑货。当机台停止跑货时，目前常用的处理方法是，工程师禁掉机台安全联锁机构，进入前置晶圆传送腔内，手动矫正偏离的晶圆。

然而，手动矫正晶圆2时，矫正时间较长，存在安全风险，并且容易污染晶圆2。

实用新型内容

本实用新型提供了一种晶圆矫正装置，以解决手动矫正晶圆时，矫正时间较长，存在安全风险，并且容易污染晶圆的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆矫正装置，所述晶圆矫正装置用于对卡匣内的晶圆进行矫正，所述卡匣包括四列卡槽；

所述晶圆矫正装置包括支架、四个矫正推杆、滑轨和驱动单元；

所述支架用于支撑所述矫正推杆和所述滑轨；所述滑轨安装在所述支架上；四个所述矫正推杆围绕四列所述卡槽设置，每列所述卡槽的开口位置分别设置一个所述矫正推杆；每个所述矫正推杆均包括矫正部，所述矫正部与每列所述卡槽平行，四个所述矫正推杆的矫正部与其自身最近的一列所述卡槽之间的距离均相等；每个所述矫正推杆的至少一端安装在一个所述滑轨上，所述驱动单元与四个所述矫正推杆连接，所述驱动单元用于控制四个所述矫正推杆同时向所述卡匣的中心线靠拢或同时远离所述卡匣的中心线；当四个所述矫正推杆与所述卡匣的中心线之间的距离最小时，所述卡匣的开口的同一侧的两个所述矫正推杆的矫正部之间的距离为第一距离，所述卡匣的开口的同一侧的两列所述卡槽之间的距离为第二距离，所述第一距离小于所述第二距离；当四个所述矫正推杆与所述卡匣的中心线之间的距离最大时，所述卡匣的开口的同一侧的两个所述矫正推杆的矫正部之间的距离为第三距离，所述第三距离大于所述第二距离。

可选的，所述矫正推杆与每列所述卡槽均平行。

可选的，四个所述矫正推杆分布在同一个圆周上。

可选的，所述矫正推杆的外侧设置有弹性层。

可选的，所述卡匣包括顶板和底板，所述支架安装在所述顶板和所述底板上。

可选的，每个所述矫正推杆的两端分别安装在一个所述滑轨上。

可选的，每个所述滑轨在靠近所述卡匣的中心线一侧分别设置一个限位块，所述限位块用于对所述矫正推杆的行程进行限位。

可选的，所述驱动单元包括四个气缸和一个开关，每个所述气缸分别与一个所述矫正推杆连接；四个所述气缸分别与所述开关连接，所述开关用于控制四个所述气缸同时动作。