[实用新型]一种集成电路探针测试架

说明书

本实用新型公开了一种集成电路探针测试架，包括底板，所述底板上固定安装有测试架，所述测试架的下方设有活动安装在底板上的底座，所述底座的顶部转动安装有拖台盘，所述底座与测试架之间设有X轴移动机构和Y轴移动机构，所述测试架的顶部中心设有测试通孔，所述测试通孔的外部同轴安装有环形的轨道，所述轨道上滑动安装有至少一个可伸入测试通孔的探针组件。本实用新型通过设置X轴移动机构和Y轴移动机构，从而带动底座沿前后、左右移动，进而带动托盘台移动，托盘台转动安装在底座上，从而实现360°旋转，提高测试电路的放置位置的灵活性；通过在测试架上设置轨道，便于移动探针组件的位置，满足不同类型的芯片及PCB板性能测试的需求。

技术领域

本实用新型涉及集成电路测试技术领域，尤其涉及一种集成电路探针测试架。

背景技术

集成电路是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。当今，半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路，在进行集成电路生产过程中，需要使用测试设备对集成电路进行性能检测，以判断集成电路是否合格。但是由于小型化以及集成度高使得设计的集成电路端口只能引出微米级别大小的焊接点或测试点，有些PCB板设计为了减小产品的体积也做了一些面积很小的焊接点或测试点，采用普通的测试方法很难进行测试。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处而提出一种集成电路探针测试架，能够满足不同类型的芯片及PCB板性能测试的需求。

实现本实用新型目的技术方案是：

一种集成电路探针测试架，包括底板，所述底板上固定安装有测试架，所述测试架的下方设有活动安装在底板上的底座，所述底座的顶部转动安装有拖台盘，所述底座与测试架之间设有X轴移动机构和Y轴移动机构，所述测试架的顶部中心设有测试通孔，所述测试通孔的外部同轴安装有环形的轨道，所述轨道上滑动安装有至少一个可伸入测试通孔的探针组件。

进一步地，所述测试架相邻的两个侧边上沿水平方向开设有条形通槽，所述X轴移动机构和Y轴移动机构的结构相同，包括丝杆和设于丝杆上的移动块，所述移动块滑动安装在条形通槽内，所述丝杆的一端与底座固定连接，另一端设有手轮。

进一步地，所述底座的顶部中心固定安装有托盘轴，所述拖台盘的底部中心设有轴套，所述托盘轴的上部与轴套之间连接有轴承。

进一步地，所述托盘轴的下部外径与轴套的外径相同，并且所述托盘轴与轴套的外部套设有锁紧机构。

进一步地，所述底座的底部均匀设有至少三个万向轮。

进一步地，所述探针组件的底部设有与轨道相适配的滑动块，所述轨道的截面为U型，所述滑动块的截面为M型，所述滑动块远离测试通孔的一侧设有连通轨道的第一螺孔，所述第一螺孔内设有第一锁紧螺母。

进一步地，所述滑动块的顶部和探针组件的底部之间连接有万向节。

进一步地，所述探针组件包括中空结构的外壳以及贯穿外壳前后的芯轴，所述芯轴的后部设有外螺纹，所述外壳的后端内壁设有与外螺纹相配合的内螺纹；所述芯轴的前端固定设有测试针。

进一步地，所述外壳的顶部设有连通芯轴的第二螺孔，所述第二螺孔内设有第二锁紧螺母。

进一步地，所述测试针的材质为钨丝，并且所述测试针的尖端外径为1~9μm。

进一步地，所述底座的一侧设有L型支架，所述支架上可调节地安装有位于测试架上方的带照明灯的显微镜，从而提高测试点亮度，通过在显微镜下操作，方便连接。

采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：