[实用新型]一种集成电路探针测试架

权利要求书

1.一种集成电路探针测试架，其特征在于：包括底板（1），所述底板（1）上固定安装有测试架（2），所述测试架（2）的下方设有活动安装在底板（1）上的底座（3），所述底座（3）的顶部转动安装有拖台盘（4），所述底座（3）与测试架（2）之间设有X轴移动机构（5）和Y轴移动机构（6），所述测试架（2）的顶部中心设有测试通孔（2-1），所述测试通孔（2-1）的外部同轴安装有环形的轨道（7），所述轨道（7）上滑动安装有至少一个可伸入测试通孔（2-1）的探针组件（8）。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：所述测试架（2）相邻的两个侧边上沿水平方向开设有条形通槽（2-2），所述X轴移动机构（5）和Y轴移动机构（6）的结构相同，包括丝杆（5-1）和设于丝杆（5-1）上的移动块（5-2），所述移动块（5-2）滑动安装在条形通槽（2-2）内，所述丝杆（5-1）的一端与底座（3）固定连接，另一端设有手轮（5-3）。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：所述底座（3）的顶部中心固定安装有托盘轴（3-2），所述拖台盘（4）的底部中心设有轴套（4-1），所述托盘轴（3-2）的上部与轴套（4-1）之间连接有轴承。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：所述托盘轴（3-2）的下部外径与轴套（4-1）的外径相同，并且所述托盘轴（3-2）与轴套（4-1）的外部套设有锁紧机构（9）。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：根据权利要求1所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：所述底座（3）的底部均匀设有至少三个万向轮（3-1）。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：所述探针组件（8）的底部设有与轨道（7）相适配的滑动块（10），所述轨道（7）的截面为U型，所述滑动块（10）的截面为M型，所述滑动块（10）远离测试通孔（2-1）的一侧设有连通轨道（7）的第一螺孔，所述第一螺孔内设有第一锁紧螺母（11）。

7.根据权利要求6所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：所述滑动块（10）的顶部和探针组件（8）的底部之间连接有万向节（12）。

8.根据权利要求1所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：所述探针组件（8）包括中空结构的外壳（8-1）以及贯穿外壳（8-1）前后的芯轴（8-2），所述芯轴（8-2）的后部设有外螺纹，所述外壳（8-1）的后端内壁设有与外螺纹相配合的内螺纹；所述芯轴（8-2）的前端固定设有测试针（8-3）。

9.根据权利要求8所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：所述外壳（8-1）的顶部设有连通芯轴（8-2）的第二螺孔，所述第二螺孔内设有第二锁紧螺母（13）。

10.根据权利要求8所述的一种集成电路探针测试架，其特征在于：所述测试针（8-3）的材质为钨丝，并且所述测试针（8-3）的尖端外径为1~9μm。