[实用新型]一种高功率激光振镜冷却结构

权利要求书

1.一种高功率激光振镜冷却结构，包括振镜座(1)，其特征在于：所述振镜座(1)中设置有振镜腔(11)，振镜腔(11)中安装有振镜片；所述振镜腔(11)壁面上安装有气冷块，气冷块上设置有多个出气孔(10)，出气孔(10)的孔口均朝向振镜片的摆动中心线；所述出气孔(10)通过冷却气管组件(3)与外部气源接通。

2.如权利要求1所述的一种高功率激光振镜冷却结构，其特征在于：所述冷却气管组件(3)容纳于振镜腔(11)外部的振镜座(1)内，冷却气管组件(3)贯穿振镜腔(11)的壁面为气冷块供气。

3.如权利要求1所述的一种高功率激光振镜冷却结构，其特征在于：所述气冷块与振镜片分别一一对应设置，振镜片由对应的振镜电机带动摆动。

4.如权利要求3所述的一种高功率激光振镜冷却结构，其特征在于：所述振镜片的数量为两个，分别为振镜片一(5)和振镜片二(7)，两个振镜片分别安装于振镜腔(11)相垂直的两内侧面上。

5.如权利要求4所述的一种高功率激光振镜冷却结构，其特征在于：所述振镜片一(5)和振镜片二(7)分别由对应的振镜电机一(6)和振镜电机二(2)带动摆动；所述振镜电机一(6)和振镜电机二(2)均安装于振镜腔(11)外部的振镜座(1)内。

6.如权利要求4所述的一种高功率激光振镜冷却结构，其特征在于：与振镜片一(5)和振镜片二(7)分别对应设置有气冷块一(4)和气冷块二(8)，冷却气管组件(3)同时为气冷块一(4)和气冷块二(8)供气。

7.如权利要求6所述的一种高功率激光振镜冷却结构，其特征在于：所述冷却气管组件(3)的具体结构为：包括总管(31)，总管(31)一端穿过振镜座(1)壁面与外侧面上的快插接头(30)连通，总管(31)另一端安装有三通接头(32)，总管(31)通过三通接头(32)分流为两组支管(33)，支管(33)端部均安装有连接头(34)，连接头(34)经振镜腔(11)壁面与气冷块的出气孔(10)相通。

8.如权利要求6所述的一种高功率激光振镜冷却结构，其特征在于：所述气冷块一(4)和气冷块二(8)侧面均设置有穿过振镜腔(11)的凸块(41)，凸块(41)中部开设有与冷却气管组件(3)相通的中心孔(42)；所述气冷块一(4)和气冷块二(8)朝向对应振镜片的壁面内均开设有出气总孔(45)，沿着出气总孔(45)长度方向开设有多个出气孔(10)，多个出气孔(10)位于与振镜片摆动中心线相平行的直线上；所述中心孔(42)和出气总孔(45)之间通过气路孔(43)相通。

9.如权利要求4所述的一种高功率激光振镜冷却结构，其特征在于：两个振镜片之间成角度设置，外部激光射入振镜腔(11)中，激光经两个振镜片依次反射后射出振镜腔(11)。

10.如权利要求1所述的一种高功率激光振镜冷却结构，其特征在于：所述振镜座(1)壁面内还内设有水冷管路(9)。