[实用新型]一种新型离子枪水冷装置

说明书

本实用新型属于离子枪技术领域，具体公开了一种新型离子枪水冷装置，包括真空室、冷却水箱、温度探头、温控器、循环水泵、过滤器、热交换器和制冷机，所述真空室内设置有离子枪冷却座，所述离子枪上设置有离子枪本体，所述离子枪冷却座的冷却水出口通过循环管连接有循过滤器进水口，所述过滤器出水口通过循环管连接有循环水泵进水口，所述循环水泵出水口通过循环管连接有热交换器的进水口，所述热交换器的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座形成一个循环回路置，本实用新型本实用新型实现双冷却循环，既保证离子枪工作时产生热量及时通过冷却回路热交换器与设备外接低温冷却水进行热量交换从而保证离子枪连续工作。

技术领域

本实用新型涉及离子枪技术领域，具体为一种新型离子枪水冷装置。

背景技术

离子枪在工作过程中会产生大量的热，同时离子枪工作时处于高真空下，真空下不容易散热，如不能及时散热，会因为过热产生不了高速离子流而导致设备停止工作，温度过高也会导致融化掉离子枪绝缘机构，真空室内负压会将油水等吸到真空室内。

现有离子枪工作时散热技术：主要由其安装座上的半导体散热装置散热，由于整个机构处于真空室中，热传导效率低，离子枪长时间连续工作会由于散热慢导致离子枪温度升高而停止工作，影响工作效率，严重时造成设备运行故障。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型离子枪水冷装置以解决上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型离子枪水冷装置，包括真空室、冷却水箱、温度探头、温控器、循环水泵、过滤器、热交换器和制冷机，所述真空室内设置有离子枪冷却座，所述离子枪上设置有离子枪本体，所述离子枪冷却座的冷却水出口通过循环管连接有循过滤器进水口，所述过滤器出水口通过循环管连接有循环水泵进水口，所述循环水泵出水口通过循环管连接有热交换器的进水口，所述热交换器的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座形成一个循环回路。

优选的，所述靠近离子枪冷却座冷却水出口设置的循环管上设置有流量传感器。

优选的，所述离子枪冷却座的冷却水出口设置的循环管通过循环支管连接有冷却水箱。

优选的，所述热交换器的热气出口连接有制冷机的热气进口，所述制冷机的冷气出口连接有热交换器的冷气进口。

优选的，所述冷却水箱内设置有温度探头，所述温度探头连接有温控器，所述温度探头与温控器之间采用电性连接，所述温控器连接有电机调速模组，所述温控器与电机调速模组之间采用电性连接，所述电机调速模组连接有循环水泵，所述电机调速模组与循环水泵之间采用控制连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：离子枪冷却座内部设计有冷却液循环管，工作时回路中的冷却液从离子枪底座带走离子枪工作时产生的热量，并使离子枪一直处于最佳工作温度，同时管路装有流量传感器，实时对冷却液流量进行检测，如果发生阻塞及时报警，本实用新型实现双冷却循环，既保证离子枪工作时产生热量及时通过冷却回路热交换器与设备外接低温冷却水进行热量交换从而保证离子枪连续工作，又保证真空腔体不会因冷却液体泄漏污染内部工作环境。

附图说明

图1为本实用新型冷却水循环结构示意图。

图中：1、真空室；2、离子枪冷却座；3、离子枪本体；4、流量传感器；5、冷却水箱；6、温度探头；7、温控器；8、电机调速模组；9、循环水泵；10、热交换器；11、制冷机；12、过滤器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。