[实用新型]一种新型离子枪水冷装置

权利要求书

1.一种新型离子枪水冷装置，其特征在于：包括真空室（1）、冷却水箱（5）、温度探头（6）、温控器（7）、循环水泵（9）、过滤器（12）、热交换器（10）和制冷机（11），所述真空室（1）内设置有离子枪冷却座（2），所述离子枪冷却座（2）上设置有离子枪本体（3），所述离子枪冷却座（2）的冷却水出口通过循环管连接有过滤器（12）进水口，所述过滤器（12）出水口通过循环管连接有循环水泵（9）进水口，所述循环水泵（9）出水口通过循环管连接有热交换器（10）的进水口，所述热交换器（10）的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座（2）形成一个循环回路。

2.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置，其特征在于：靠近所述离子枪冷却座（2）冷却水出口设置的循环管上设置有流量传感器（4）。

3.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置，其特征在于：所述离子枪冷却座（2）的冷却水出口设置的循环管通过循环支管连接有冷却水箱（5）。

4.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置，其特征在于：所述热交换器（10）的热气出口连接有制冷机（11）的热气进口，所述制冷机（11）的冷气出口连接有热交换器（10）的冷气进口。

5.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置，其特征在于：所述冷却水箱（5）内设置有温度探头（6），所述温度探头（6）连接有温控器（7），所述温度探头（6）与温控器（7）之间采用电性连接，所述温控器（7）连接有电机调速模组（8），所述温控器（7）与电机调速模组（8）之间采用电性连接，所述电机调速模组（8）连接有循环水泵（9），所述电机调速模组（8）与循环水泵（9）之间采用控制连接。