[实用新型]一种料框水平旋转提升机构

说明书

本实用新型提供一种料框水平旋转提升机构，包括底板、通过导向柱与底板相连的升降板、驱动升降板沿导向柱升降的丝杆单元、通过连接柱与升降板相连的安装板、设置于安装板底部的旋转单元、设置于安装板上方与旋转单元相连的旋转平台、设置于旋转平台两侧的两个夹持单元及设置于旋转平台上的检测传感器；夹持单元包括一端与旋转平台一角铰接的L型摆座、与L型摆座另一端铰接的摆座连杆及设置于旋转平台一侧驱动摆座连杆进退的摆座气缸。晶圆承载框及晶圆放置到所述旋转平台上，所述夹持单元将晶圆承载框夹持固定，所述旋转单元驱动所述旋转平台在预设角度范实现了晶圆承载框的自动化旋转及升降。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，尤其涉及一种料框水平旋转提升机构。

背景技术

在晶圆生产过程中，需要确保晶圆承载框及晶圆能够在一预设角度范围内旋转，同时能够驱动晶圆承载框在一预设高速范围内升降，满足生产（或者清洗）过程中的需求。现有的机构，通常只能满足旋转或者升降需求，通过两个机构驱动旋转及升降的方式，工序复杂，效率低下。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种料框水平旋转提升机构。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种料框水平旋转提升机构，包括底板、通过导向柱与所述底板相连的升降板、驱动所述升降板沿所述导向柱升降的丝杆单元、通过连接柱与所述升降板相连的安装板、设置于所述安装板底部的旋转单元、设置于所述安装板上方与所述旋转单元相连的旋转平台、设置于所述旋转平台两侧的两个夹持单元以及设置于所述旋转平台上的检测传感器；所述夹持单元包括一端与所述旋转平台一角铰接的L型摆座、与所述L型摆座另一端铰接的摆座连杆以及设置于所述旋转平台一侧驱动所述摆座连杆进退的摆座气缸。

进一步的是，所述旋转单元包括与所述旋转平台底部相连的转台、设置于所述转台外围的齿轮、与所述齿轮啮合的齿条以及驱动所述齿条进退的水平旋转气缸。

进一步的是，所述安装板的底部两侧设置有连接板，所述连接板上分别设置有左限位螺钉和右限位螺钉。

进一步的是，所述底板的中部设置有立板，所述立板上设置有上下极限感应片。

进一步的是，所述旋转平台的两侧设置有限位板，所述L型摆座一端与所述限位板的一端铰接，所述摆座气缸设置于所述限位板的外侧。

进一步的是，所述丝杆单元包括与所述升降板滑动配合的丝杆以及驱动所述丝杆转动的伺服电机。

本实用新型的料框水平旋转提升机构，晶圆承载框及晶圆放置到所述旋转平台上，所述夹持单元将晶圆承载框夹持固定，所述检测传感器检测到产品到达后，所述旋转单元驱动所述旋转平台在预设角度范围内旋转，所述丝杆单元驱动所述升降板沿所述导向柱在预设高度范围内升降，即实现了晶圆承载框的自动化旋转及升降；

夹持时，所述摆座气缸驱动所述摆座连杆前进，所述摆座连杆带动所述L型摆座旋转至与所述旋转平台的一个侧边平齐，所述定位凸台与晶圆承载框抵接，将晶圆承载框夹持，操作简单，响应快。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的料框水平旋转提升机构的示意图；

图2为本实用新型的料框水平旋转提升机构的夹持单元的示意图；

图中标记为：

底板1，导向柱11，立板12，上下极限感应片13，

升降板2，连接柱21，

丝杆单元3，丝杆31，伺服电机32，