[实用新型]一种石墨片卡点自动装卸设备

说明书

本实用新型提供一种石墨片卡点自动装卸设备，包括工作台、机架、移动模组、吸盘模组、压装模组和振动盘供料模组。吸盘模组用于吸取石墨片，振动盘供料模组用于为压装模组供给新卡点，压装模组用于拆卸旧卡点和压装新卡点，移动模组用于实现吸盘模组、压装模组的前后、左右、上下运动。本实用新型的石墨片卡点自动装卸设备能够将进料工位上的石墨片自动运输至卸卡点工位、自动卸除旧卡点、自动压装新卡点以及将安装好新卡点的石墨片自动运输至下料工位，设备安全可靠，能够提升工作效率，降低人工劳动强度，还能够保证石墨片卡点压装质量，减少报废。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造设备领域，尤其涉及一种石墨片卡点自动装卸设备。

背景技术

在太阳能电池的生产过程中，PECVD（Plasma Enhanced ChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积法）镀膜工艺是生产流程中的重要环节。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上。目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空镀膜设备中，采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。

为了将硅片固定于石墨舟中，石墨舟的石墨片上设有用于固定硅片的卡点。实际生产中，多次使用后卡点会存在一定程度的磨损或烧焦，因此，需要定期对石墨片上的卡点进行更换。传统人工拆卸卡点方式，拆卸效率低，劳动强度大；石墨片卡点压装机需要人工进行上下料操作，工作效率低，且上下料时石墨片定位精度差，容易导致错压等问题，报废率高，实用性不强。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石墨片卡点自动装卸设备，实现石墨片上料、卸卡点、压装卡点、下料的自动操作，提高定位精度，提升工作效率，降低人力成本。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种石墨片卡点自动装卸设备，包括工作台、机架、移动模组、吸盘模组、压装模组和振动盘供料模组。

所述机架设于所述工作台上，所述工作台的一边为上料台面，另一边为下料台面，所述上料台面上设有进料工位和卸卡点工位，所述卸卡点工位设于所述进料工位的后侧；所述下料台面上设有压装工位和下料工位，所述压装工位设于所述下料工位的后侧。

所述移动模组包括第一导轨、第一滑块、第二导轨、第二滑块、第三滑块、第三导轨、第四滑块、第四导轨和第五滑块，所述第一导轨设于所述机架的内壁左右两侧，所述第一滑块可运动地设于所述第一导轨上；所述第二导轨的两端分别与两侧的第一滑块固定连接；所述第二滑块、所述第三滑块分别可运动地设于所述第二导轨的前后两侧，所述第三导轨沿竖直方向设于所述第二滑块上，所述第四导轨沿竖直方向设于所述第三滑块上；所述第四滑块可运动地设于所述第三导轨上；所述第五滑块可运动地设于所述第四导轨上。

所述吸盘模组包括第一安装板、第二安装板和多个吸盘，所述第一安装板与所述第四滑块固定连接，所述第二安装板与所述第一安装板固定连接，所述第二安装板平行于所述上料台面，多个吸盘设于所述第二安装板的底部。

所述压装模组包括压装板和多个压杆，所述压装板与所述第五滑块固定连接，所述压装板平行于所述上料台面，多个压杆设于所述压装板的底部。

所述振动盘供料模组设于下料台面上且对应于所述压装工位的后侧，所述振动盘供料模组包括第一振动盘供料器和第二振动盘供料器，所述第一振动盘供料器的输料端、所述第二振动盘供料器的输料端均朝向所述压装工位。

优选地，所述石墨片卡点自动装卸设备还包括控制器，所述控制器设于所述机架的外侧，所述移动模组、所述吸盘模组、所述压装模组与所述控制器电性连接。