[实用新型]一种晶圆储存盒承载台有效
| 申请号： | 202123341806.1 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN216793655U | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 邵颖 | 申请（专利权）人： | 捷螺系统（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/677 |
| 代理公司： | 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 32326 | 代理人： | 王环宇 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城区阳澄湖镇枪堂村*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 储存 承载 | ||
1.一种晶圆储存盒承载台，包括支撑板，其特征在于：所述支撑板上设置支撑座、定位块、定位柱和锁紧装置，所述支撑座包括多个且沿支撑板边缘周向设置，每个所述支撑座上设置挡块，所述定位块包括多个且设置在所述支撑板边部，所述定位柱也包括多个用于对应晶圆储存盒上的定位孔，所述锁紧装置设置在支撑板中部用于对放置后的晶圆储存盒进行固定锁紧；支撑板上还设置有信息采集装置用于读取晶圆储存盒信息。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述支撑座上设置缓冲软垫，所述挡块设置在所述缓冲软垫上。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述挡块呈L型设置且向所述支撑板内侧构成围挡，挡块上形成有导向部。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述锁紧装置包括旋转电磁阀、旋转固定头和锁紧板，所述旋转电磁阀设置在所述支撑板底部，所述旋转固定头的一端连接至旋转电磁阀输出端，所述锁紧板连接至旋转固定头另一端。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述锁紧装置还包括微动开关，所述微动开关设置在所述旋转固定头一侧的支撑板上，支撑板上开设弧形的限位槽，所述旋转固定头上设置限位部和锁紧部，所述限位部设置在所述限位槽内且可与所述微动开关触动连接，所述锁紧部上开设有锁紧槽。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述信息采集装置为条码扫描器或RFID读取器，所述条码扫描器或RFID读取器均设置在所述支撑板下方，且透过支撑板读取货物信息。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述支撑板上还设置位置检测传感器。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述支撑板上还设置多个防震缓冲柱。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
