[实用新型]一种掩膜版刻蚀用防卡板治具

说明书

本实用新型公开了一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，属于掩膜版技术领域，其可至少部分解决现有技术中掩膜版在传动过程中，由于片材较薄，容易被卡在滚轮缝隙中的问题，本实用新型实施例的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，包括防止片材卡入滚轮缝隙的防卡板结构，防卡板结构沿片材的运送方向位于片材的前端位置，防卡板结构包括引导部和用于放置片材的延伸部，引导部与延伸部固定连接，引导部和延伸部的宽度之和大于任意两个滚轮之间的间隙宽度。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版技术领域，具体涉及一种掩膜版刻蚀用防卡板治具。

背景技术

在6.5代线Open Mask Sheet刻蚀清洗的过程中，通过滚轮转动实现Invar片材自动传动，然而，在传动的过程中，因为滚轮之间存在间隔且Invar片材很薄，导致片材容易卡入滚轮，使得片材受到挤压产生褶皱，如果产生连续卡片，会造成设备宕机，严重耽误生产。为了改善刻蚀清洗设备的卡片问题，现有的方法是在片材的前端放置两个导片，然而，这种方法不能完全改善卡片问题，本申请提供了一种解决卡片的方法。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，用于解决现有技术中片材容易卡入滚轮，耽误生产的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，包括防止片材卡入滚轮缝隙的防卡板结构，防卡板结构沿片材的运送方向位于片材的前端位置，防卡板结构包括引导部和用于放置片材的延伸部，引导部与延伸部固定连接，引导部和延伸部的宽度之和大于任意两个滚轮之间的间隙宽度。

可选的，所述延伸部包括若干用于放置片材的框型导片，若干框型导片均匀的分布在引导部上，框型导片的一端均设于引导部上，框型导片的另一端均向片材运送方向的反方向延伸。

可选的，所述框型导片的尺寸和形状均相同，所述框型导片为五边形框，五边形框包括：

一条固定边框，固定边框固定在所述引导部上，固定边框平行于引导部的宽度方向设置，

两条支撑边框，两条支撑边框等长且均与固定边框垂直，两条支撑边框的A端分别与固定边框的两端固定连接；

两条延伸边框，两条延伸边框等长且两条延伸边框的A端互相固定连接，两条延伸边框的B端分别与两条支撑边框的B端固定连接，两条延伸边框与两条支撑边框的夹角相同且均为钝角。

可选的，所述框型导片的五条边框宽度均相同，导片框体的边框宽度范围为：0.4cm-2cm，框型导片的宽度范围为：9cm-11cm，框型导片的长度范围为：7cm-9cm，框型导片的厚度范围为：0.5mm-1mm。

可选的，所述框型导片的边框宽度为0.5cm，所述框型导片的宽度为10cm，所述框型导片的长度为8cm，所述框型导片的厚度为0.8mm。

可选的，还包括分别位于所述片材两侧的两个阻挡部，两个阻挡部的A端分别与引导部的两端固定连接，两个阻挡部均向片材运送方向的反方向延伸，两个阻挡部和引导部构成匚形结构。

可选的，还包括位于所述片材后端的助推部，助推部的两端分别与两个阻挡部B端固定连接，引导部、两个阻挡部和助推部构成四边形框结构。

可选的，四边形框结构为矩形框结构，所述引导部、两个阻挡部和助推部的厚度相同，引导部宽度是助推部宽度的两倍，所述矩形框体的厚度范围为：0.08cm-1.5cm；

所述引导部的宽度范围为：8cm-12cm，长度范围为：102cm-106cm；

所述两个阻挡部的宽度相同，两个阻挡部的宽度范围为：3cm-5cm，长度范围为：171cm-179cm；

所述助推部与引导部的长度相等，助推部的宽度范围为：3cm-7cm。