[实用新型]一种掩膜版刻蚀用防卡板治具有效

专利信息
申请号: 202123341660.0 申请日: 2021-12-28
公开(公告)号: CN216698319U 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 段雪波;郑庆靓;李哲;周俊吉 申请(专利权)人: 成都拓维高科光电科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 代理人: 游诚华
地址: 610000 四川*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 版刻 蚀用防卡板治具
【权利要求书】:

1.一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,包括防止片材(5)卡入滚轮(4)缝隙的防卡板结构(1),防卡板结构(1)沿片材(5)的运送方向位于片材(5)的前端位置,防卡板结构(1)包括引导部(11)和用于放置片材(5)的延伸部,引导部(11)与延伸部固定连接,引导部(11)和延伸部的宽度之和大于任意两个滚轮(4)之间的间隙宽度。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述延伸部包括若干用于放置片材(5)的框型导片(12),若干框型导片(12)均匀的分布在引导部(11)上,框型导片(12)的一端均设于引导部(11)上,框型导片(12)的另一端均向片材(5)运送方向的反方向延伸。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述框型导片(12)的尺寸和形状均相同,所述框型导片(12)为五边形框,五边形框包括:

一条固定边框(121),固定边框(121)固定在所述引导部(11)上,固定边框(121)平行于引导部(11)的宽度方向设置,

两条支撑边框(122),两条支撑边框(122)等长且均与固定边框(121)垂直,两条支撑边框(122)的A端分别与固定边框(121)的两端固定连接;

两条延伸边框(123),两条延伸边框(123)等长且两条延伸边框(123)的A端互相固定连接,两条延伸边框(123)的B端分别与两条支撑边框(122)的B端固定连接,两条延伸边框(123)与两条支撑边框(122)的夹角相同且均为钝角。

4.根据权利要求3所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述框型导片(12)的五条边框宽度均相同,导片框体的边框宽度范围为:0.4cm-2cm,框型导片(12)的宽度范围为:9cm-11cm,框型导片(12)的长度范围为:7cm-9cm,框型导片(12)的厚度范围为:0.5mm-1mm。

5.根据权利要求4所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述框型导片(12)的边框宽度为0.5cm,所述框型导片(12)的宽度为10cm,所述框型导片(12)的长度为8cm,所述框型导片(12)的厚度为0.8mm。

6.根据权利要求1所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,还包括分别位于所述片材(5)两侧的两个阻挡部(2),两个阻挡部(2)的A端分别与引导部(11)的两端固定连接,两个阻挡部(2)均向片材(5)运送方向的反方向延伸,两个阻挡部(2)和引导部(11)构成匚形结构。

7.根据权利要求6所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,还包括位于所述片材(5)后端的助推部(3),助推部(3)的两端分别与两个阻挡部(2)B端固定连接,引导部(11)、两个阻挡部(2)和助推部(3)构成四边形框结构。

8.根据权利要求7所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,四边形框结构为矩形框结构,所述引导部(11)、两个阻挡部(2)和助推部(3)的厚度相同,引导部(11)宽度是助推部(3)宽度的两倍,所述矩形框体的厚度范围为:0.08cm-1.5cm;

所述引导部(11)的宽度范围为:8cm-12cm,长度范围为:102cm-106cm;

所述两个阻挡部(2)的宽度相同,两个阻挡部(2)的宽度范围为:3cm-5cm,长度范围为:171cm-179cm;

所述助推部(3)与引导部(11)的长度相等,助推部(3)的宽度范围为:3cm-7cm。

9.根据权利要求8所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述矩形框体的厚度为为0.1cm,所述引导部(11)的宽度为10cm,引导部(11)的长度为104cm,所述阻挡部(2)的宽度为4cm,阻挡部(2)的长度为175cm,所述助推部(3)的宽度为5cm。

10.根据权利要求7所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述四边形框结构和所述引导部(11)的材料均为无色透明的聚碳酸酯。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都拓维高科光电科技有限公司,未经成都拓维高科光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202123341660.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top