[实用新型]一种掩膜版刻蚀用防卡板治具有效
申请号: | 202123341660.0 | 申请日: | 2021-12-28 |
公开(公告)号: | CN216698319U | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 段雪波;郑庆靓;李哲;周俊吉 | 申请(专利权)人: | 成都拓维高科光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人: | 游诚华 |
地址: | 610000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 版刻 蚀用防卡板治具 | ||
1.一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,包括防止片材(5)卡入滚轮(4)缝隙的防卡板结构(1),防卡板结构(1)沿片材(5)的运送方向位于片材(5)的前端位置,防卡板结构(1)包括引导部(11)和用于放置片材(5)的延伸部,引导部(11)与延伸部固定连接,引导部(11)和延伸部的宽度之和大于任意两个滚轮(4)之间的间隙宽度。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述延伸部包括若干用于放置片材(5)的框型导片(12),若干框型导片(12)均匀的分布在引导部(11)上,框型导片(12)的一端均设于引导部(11)上,框型导片(12)的另一端均向片材(5)运送方向的反方向延伸。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述框型导片(12)的尺寸和形状均相同,所述框型导片(12)为五边形框,五边形框包括:
一条固定边框(121),固定边框(121)固定在所述引导部(11)上,固定边框(121)平行于引导部(11)的宽度方向设置,
两条支撑边框(122),两条支撑边框(122)等长且均与固定边框(121)垂直,两条支撑边框(122)的A端分别与固定边框(121)的两端固定连接;
两条延伸边框(123),两条延伸边框(123)等长且两条延伸边框(123)的A端互相固定连接,两条延伸边框(123)的B端分别与两条支撑边框(122)的B端固定连接,两条延伸边框(123)与两条支撑边框(122)的夹角相同且均为钝角。
4.根据权利要求3所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述框型导片(12)的五条边框宽度均相同,导片框体的边框宽度范围为:0.4cm-2cm,框型导片(12)的宽度范围为:9cm-11cm,框型导片(12)的长度范围为:7cm-9cm,框型导片(12)的厚度范围为:0.5mm-1mm。
5.根据权利要求4所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述框型导片(12)的边框宽度为0.5cm,所述框型导片(12)的宽度为10cm,所述框型导片(12)的长度为8cm,所述框型导片(12)的厚度为0.8mm。
6.根据权利要求1所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,还包括分别位于所述片材(5)两侧的两个阻挡部(2),两个阻挡部(2)的A端分别与引导部(11)的两端固定连接,两个阻挡部(2)均向片材(5)运送方向的反方向延伸,两个阻挡部(2)和引导部(11)构成匚形结构。
7.根据权利要求6所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,还包括位于所述片材(5)后端的助推部(3),助推部(3)的两端分别与两个阻挡部(2)B端固定连接,引导部(11)、两个阻挡部(2)和助推部(3)构成四边形框结构。
8.根据权利要求7所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,四边形框结构为矩形框结构,所述引导部(11)、两个阻挡部(2)和助推部(3)的厚度相同,引导部(11)宽度是助推部(3)宽度的两倍,所述矩形框体的厚度范围为:0.08cm-1.5cm;
所述引导部(11)的宽度范围为:8cm-12cm,长度范围为:102cm-106cm;
所述两个阻挡部(2)的宽度相同,两个阻挡部(2)的宽度范围为:3cm-5cm,长度范围为:171cm-179cm;
所述助推部(3)与引导部(11)的长度相等,助推部(3)的宽度范围为:3cm-7cm。
9.根据权利要求8所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述矩形框体的厚度为为0.1cm,所述引导部(11)的宽度为10cm,引导部(11)的长度为104cm,所述阻挡部(2)的宽度为4cm,阻挡部(2)的长度为175cm,所述助推部(3)的宽度为5cm。
10.根据权利要求7所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,其特征在于,所述四边形框结构和所述引导部(11)的材料均为无色透明的聚碳酸酯。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都拓维高科光电科技有限公司,未经成都拓维高科光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202123341660.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种高效实用的牙科胶片裁切装置
- 下一篇:一种木线条与木框贴合装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造