[实用新型]一种硅片载片框及硅片镀膜系统

权利要求书

1.一种硅片载片框，用于承载硅片以便对所述硅片进行表面镀膜，其特征在于，所述硅片载片框包括框本体以及两根挡条；所述框本体包括主框和多个载片子框，多个所述载片子框呈阵列分布于所述主框内，两根所述挡条分别设置在所述主框的相对两侧；每个所述载片子框具有倾斜的承载面，所述承载面用于承载硅片。

2.根据权利要求1所述的硅片载片框，其特征在于，定义：沿所述挡条的延伸方向，所述主框的尺寸为框宽度；沿垂直于所述挡条的延伸方向，所述主框的尺寸为框长度；每根所述挡条的长度均为所述框宽度的1/3-1/2。

3.根据权利要求1所述的硅片载片框，其特征在于，两根所述挡条径向高度均超出所述承载面上端5mm-10mm。

4.根据权利要求1所述的硅片载片框，其特征在于，两根所述挡条通过多个固定件固定在所述主框上。

5.根据权利要求4所述的硅片载片框，其特征在于，所述固定件为螺钉，所述挡条与所述主框通过螺接方式固定。

6.根据权利要求4所述的硅片载片框，其特征在于，所述固定件为卡扣，所述卡扣固定在所述主框的两侧，所述挡条与所述主框通过所述卡扣固定。

7.根据权利要求1所述的硅片载片框，其特征在于，两根所述挡条均为石墨挡条。

8.根据权利要求1-7任一项所述的硅片载片框，其特征在于，所述承载面与水平面的夹角为10°-30°。

9.一种硅片镀膜系统，其特征在于，包括镀膜装置以及如权利要求1-8任一项所述的硅片载片框，所述镀膜装置包括镀膜工艺腔以及传送机构，所述传送机构用于传送所述硅片载片框以使所述硅片载片框在所述镀膜工艺腔中运行，使所述挡条的延伸方向与所述传送机构的传送方向一致。

10.根据权利要求9所述的硅片镀膜系统，其特征在于，还包括夹紧机构，所述夹紧机构滑动设置在所述传送机构两侧以将所述硅片载片框固定在所述传送机构上。