[实用新型]一种旋摆压紧结构有效
| 申请号: | 202123265133.6 | 申请日: | 2021-12-23 |
| 公开(公告)号: | CN218299771U | 公开(公告)日: | 2023-01-13 |
| 发明(设计)人: | 肖治祥;王永乾;朱涛 | 申请(专利权)人: | 苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 江苏坤象律师事务所 32393 | 代理人: | 赵新民 |
| 地址: | 215100 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 压紧 结构 | ||
1.一种旋摆压紧结构,其特征在于,包括用于放置物品的承载台(20)和压紧件;所述承载台(20)的下方设置有连杆机构(1),所述压紧件与所述连杆机构(1)固定连接,并在所述连杆机构(1)的带动下摆动对所述物品进行压紧或松开。
2.根据权利要求1所述的旋摆压紧结构,其特征在于,所述承载台(20)内嵌有中空的长槽(201),所述长槽(201)位于所述连杆机构(1)的上方,所述压紧件在所述连杆机构(1)的带动下在所述长槽(201)内旋摆。
3.根据权利要求2所述的旋摆压紧结构,其特征在于,所述连杆机构(1)包括运动块(12)、安装座(11)和连杆(13);所述压紧件与所述运动块(12)固定连接,所述运动块(12)通过至少两个所述连杆(13)铰接于所述安装座(11)上,所述连杆机构(1)在动力件的驱动下旋摆运动。
4.根据权利要求3所述的旋摆压紧结构,其特征在于,所述压紧件为倒“L”型滑杆(15),所述倒“L”型滑杆(15)固定连接在所述运动块(12)上。
5.根据权利要求4所述的旋摆压紧结构,其特征在于,所述动力件为气缸(10),所述气缸(10)的活塞杆与所述运动块(12)铰接,所述气缸(10)的缸体通过连接块(16)与所述安装座(11)铰接。
6.根据权利要求5所述的旋摆压紧结构,其特征在于,所述气缸(10)的活塞杆固定连接有连接件,所述连接件通过销轴与所述运动块(12)铰接。
7.根据权利要求5所述的旋摆压紧结构,其特征在于,所述气缸(10)收缩驱动所述运动块(12)向前运动,所述运动块(12)带动所述连杆(13)逆时针旋转,同时带动所述倒“L”型滑杆(15)在所述长槽(201)中逆时针摆动完成对所述物品的压紧。
8.根据权利要求5所述的旋摆压紧结构,其特征在于,所述气缸(10)伸出驱动所述运动块(12)向后运动,所述运动块(12)带动所述连杆(13)顺时针旋转,同时带动所述倒“L”型滑杆(15)在所述长槽(201)中顺时针摆动实现对所述物品的松开。
9.根据权利要求1-8任一项所述的旋摆压紧结构,其特征在于,还包括固定板(17),所述固定板(17)设置于安装座(11)的外侧,所述固定板(17)与连杆机构(1)可拆卸连接。
10.根据权利要求1所述的旋摆压紧结构,其特征在于,所述物品为晶圆盒(3),所述晶圆盒(3)底部形成有压边(301),倒“L”型滑杆(15)在所述连杆机构(1)的带动下对所述压边(301)压紧或松开。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





