[实用新型]一种氧化铝粉尘捕捉器及氧化铝镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202123242990.4 申请日: 2021-12-22
公开(公告)号: CN218241770U 公开(公告)日: 2023-01-06
发明(设计)人: 任小伟;蔡凯;周芳超;王春来;任良为 申请(专利权)人: 横店集团东磁股份有限公司
主分类号: H01L21/316 分类号: H01L21/316;H01L31/18
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 季承
地址: 322118 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 氧化铝 粉尘 捕捉 镀膜 设备
【权利要求书】:

1.一种氧化铝粉尘捕捉器,其特征在于,所述氧化铝粉尘捕捉器包括:

氧化铝存储装置(1),所述氧化铝存储装置(1)中盛放有氧化铝粉尘;

抽真空装置(2);

第一管路(3),所述第一管路(3)设置在所述氧化铝存储装置(1)与所述抽真空装置(2)之间,且所述第一管路(3)一端连通于所述氧化铝存储装置(1),另一端连通于所述抽真空装置(2);

第二管路(4),所述第二管路(4)设置在所述氧化铝存储装置(1)与所述抽真空装置(2)之间,且所述第二管路(4)一端连通于所述氧化铝存储装置(1),另一端连通于所述抽真空装置(2),且所述第二管路(4)不连通所述第一管路(3);所述抽真空装置(2)远离所述氧化铝存储装置(1)的一端设置有太阳能电池,以使所述氧化铝粉尘能够经过所述第一管路(3)或所述第二管路(4)沉积在所述太阳能电池的表面。

2.根据权利要求1所述的氧化铝粉尘捕捉器,其特征在于,所述氧化铝粉尘捕捉器还包括第一真空阀(31)和第二真空阀(32),所述第一真空阀(31)设置在所述第一管路(3)靠近所述氧化铝存储装置(1)的一端,所述第二真空阀(32)设置在所述第一管路(3)靠近所述抽真空装置(2)的一端。

3.根据权利要求2所述的氧化铝粉尘捕捉器,其特征在于,所述氧化铝粉尘捕捉器还包括第三真空阀(41)和第四真空阀(42),所述第三真空阀(41)设置在所述第二管路(4)靠近所述氧化铝存储装置(1)的一端,所述第四真空阀(42)设置在所述第二管路(4)靠近所述抽真空装置(2)的一端。

4.根据权利要求3所述的氧化铝粉尘捕捉器,其特征在于,所述氧化铝粉尘捕捉器还包括第三管路(5),所述第三管路(5)包括a口(51)、b口(52)和c口(53),所述a口(51)连接于所述氧化铝存储装置(1),所述b口(52)连接于所述第一真空阀(31),所述c口(53)连接于所述第三真空阀(41)。

5.根据权利要求3所述的氧化铝粉尘捕捉器,其特征在于,所述氧化铝粉尘捕捉器还包括第四管路(6),所述第四管路(6)包括d口(61)、e口(62)和f口(63),所述d口(61)连接于所述抽真空装置(2),所述e口(62)连接于所述第二真空阀(32),所述f口(63)连接于所述第四真空阀(42)。

6.根据权利要求3所述的氧化铝粉尘捕捉器,其特征在于,所述第一管路(3)包括第一球形部(33),所述第一球形部(33)设置在所述第一真空阀(31)和所述第二真空阀(32)之间。

7.根据权利要求3所述的氧化铝粉尘捕捉器,其特征在于,所述第二管路(4)包括第二球形部(43),所述第二球形部(43)设置在所述第三真空阀(41)和所述第四真空阀(42)之间。

8.根据权利要求3所述的氧化铝粉尘捕捉器,其特征在于,所述第一真空阀(31)、所述第二真空阀(32)、所述第三真空阀(41)以及所述第四真空阀(42)均为真空蝶阀。

9.根据权利要求1所述的氧化铝粉尘捕捉器,其特征在于,所述抽真空装置(2)的真空度保持在200pa-1200pa之间。

10.一种氧化铝镀膜设备,其特征在于,包括如权利要求1-9中任一项所述的氧化铝粉尘捕捉器。

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