[实用新型]一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮有效

专利信息
申请号: 202123205631.1 申请日: 2021-12-20
公开(公告)号: CN216633765U 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 李有群;陈辉;贺贤汉;王升;卓世异;孙大方 申请(专利权)人: 上海申和投资有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B45/00
代理公司: 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 代理人: 李坤
地址: 201900 上海市宝*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 能够 提高 碳化硅 晶片 边缘 品质 倒角 砂轮
【权利要求书】:

1.一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,其特征在于,包括:

固定壳体(2),所述固定壳体(2)的一侧固定连接有伺服电机(3);

安装结构(4),所述伺服电机(3)的输出端固定连接有安装结构(4),且安装结构(4)包括固定卡接槽(401),所述固定卡接槽(401)和伺服电机(3)的输出端固定连接;

拼接结构(1),所述安装结构(4)远离固定壳体(2)的一侧设有拼接结构(1),且拼接结构(1)包括连接插杆(102),所述连接插杆(102)和固定卡接槽(401)之间滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,其特征在于:所述连接插杆(102)远离固定卡接槽(401)的一侧固定连接有第一侧板(101),且第一侧板(101)呈圆环状的外形。

3.根据权利要求2所述的一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,其特征在于:所述第一侧板(101)靠近连接插杆(102)的一侧贯穿有内嵌凹槽(105),且内嵌凹槽(105)的内部设有和连接插杆(102)相互配合的连接插槽(103),所述连接插杆(102)的表面呈六棱柱形的外形,所述连接插槽(103)的内部呈和连接插杆(102)配合的六棱槽。

4.根据权利要求3所述的一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,其特征在于:所述内嵌凹槽(105)呈凹陷状的弧形槽外形,第一侧板(101)和第二侧板(104)上远离内嵌凹槽(105)的一侧均呈凸起状。

5.根据权利要求1所述的一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,其特征在于:所述固定卡接槽(401)内部靠近伺服电机(3)的一侧固定连接有加固插杆(406),所述连接插杆(102)内部远离固定卡接槽(401)的一侧固定连接有第二弹片(404),且第二弹片(404)的底端设有第一弹片(402),所述第二弹片(404)和第一弹片(402)的连接处设有铰接旋钮(403),所述第二弹片(404)和第一弹片(402)之间通过铰接旋钮(403)铰接连接,所述第二弹片(404)和第一弹片(402)之间设有金属弹片(405),且金属弹片(405)具有弹性。

6.根据权利要求1所述的一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,其特征在于:所述连接插杆(102)靠近固定壳体(2)的一侧设有贯穿卡槽(6),且贯穿卡槽(6)的内部设有内螺纹,所述贯穿卡槽(6)的内部贯穿有固定旋钮(5),且固定旋钮(5)的表面设有和贯穿卡槽(6)相互配合的外螺纹。

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