[实用新型]MOCVD尾气净化处理装置

说明书

本申请涉及MOCVD尾气净化处理装置，涉及废气处理技术领域，为了解决电子设备生产剩余废气无法直接排放，污染性强的问题。其包括处理台，所述处理台内开设有容纳腔，所述处理台侧壁设置有控制板，所述容纳腔内设置有用于对废气进行分段处理的燃烧组件和用于对燃烧产物进行多次冷却的水冷组件，所述燃烧组件连接有用于输送废气的输送管，所述燃烧组件和水冷组件通过管道相连通，控制板与燃烧组件和水冷组件电性连接。本申请具有将电子设备生产所剩余的废气进行处理，达标后再进行排放，保护环境，减小污染的效果。

技术领域

本申请涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种MOCVD尾气净化处理装置。

背景技术

在某种电子设备的生产的过程中，需要使用大量的氨气、氢气和硅烷往电子设备的芯片上喷淋，从而进行电子设备的生产。

然而，在生产之后，剩余的氨气、氢气和硅烷不能直接进行排放，氨气会产生氮化物，而氢气则极度危险，硅烷则会基本利用完全。根据此三种气体的特性，亟需一种能够针对三种气体进行处理的废气处理装置。

实用新型内容

为了将电子设备生产剩余的氨气、氢气进行废气处理，减轻环境污染，本申请提供MOCVD尾气净化处理装置。

本申请提供的MOCVD尾气净化处理装置采用如下的技术方案：

一种MOCVD尾气净化处理装置，包括处理台，所述处理台内开设有容纳腔，所述处理台侧壁设置有控制板，所述容纳腔内设置有用于对废气进行分段处理的燃烧组件和用于对燃烧产物进行多次冷却的水冷组件，所述燃烧组件连接有用于输送废气的输送管，所述燃烧组件和水冷组件通过管道相连通，控制板与燃烧组件和水冷组件电性连接。

通过采用上述技术方案，生产电子设备所剩余的废气通过输送管输入至燃烧组件内，燃烧组件对废气进行多段处理后排放入水冷组件内，经过水冷组件对燃烧后的产物的多段冷却后再进行排放，通过对氨气的分解和对氢气的燃烧，生成无害的氮气和水，降低了污染性，保护环境，提高了本申请的实用性和安全性。

可选的，所述燃烧组件包括分解筒和燃烧筒，所述分解筒竖直设置，所述输送管连接于分解筒下端壁，所述分解筒上端设置有用于对废气进行加热的电热盘，所述燃烧筒安装于分解筒内部，所述燃烧筒上端壁设置有用于控制气体输入的气体输入盘，所述分解筒上端壁设置有用于输入氧气的氧气管，所述氧气管穿过分解筒并插设入燃烧筒内，所述燃烧筒下端壁连接有排水管和排气管。

通过采用上述技术方案，生产电子设备所剩余的废气通过输送管输入分解筒内，分解筒内的电热盘开始对分解筒内的氨气进行加热，使得氨气分解为氮气和氢气，由于分解筒内为负压环境，分离后的氮气和氨气会被气体输入盘控制并输入至燃烧筒内，氧气管将氧气注入燃烧筒内，与进入的氢气进行燃烧，并生成重水，生成的重水和氮气分别通过排水管和排气管输出。本申请的燃烧组件可以针对会生成氮化物的氨气和不稳定的氢气进行处理，使得转化为无污染的氮气和重水再排出，降低污染性，保护了环境，提高了本申请的实用性和安全性。

可选的，所述排水管背离燃烧组件的一端连接有水箱，所述水箱内设置有用于抽离水箱内部重水的液泵。

通过采用上述技术方案，燃烧所生成的重水通过排水管进入水箱内，当水箱内的重水达到一定重量，便会通过液泵进行排出，便可给后续的重水腾出空间，提高了本申请的实用性和灵活性。

可选的，所述分解筒面向控制板的一侧设置有用于隔离分解筒热量的隔离罩。

通过采用上述技术方案，设置隔离罩可以将燃烧组件所产生的热量进行隔绝，降低了操作人员误触燃烧组件而引起烫伤的问题，从而保护了操作人员的人身安全，提高了本申请的实用性和安全性。

可选的，所述隔离罩上设置有温度探头，所述温度探头穿过隔离罩并与插设入分解筒内。