[实用新型]MOCVD尾气净化处理装置

权利要求书

1.一种MOCVD尾气净化处理装置，包括处理台(1)，所述处理台(1)内开设有容纳腔(11)，所述处理台(1)侧壁设置有控制板(12)，其特征在于：所述容纳腔(11)内设置有用于对废气进行分段处理的燃烧组件(2)和用于对燃烧产物进行多次冷却的水冷组件(3)，所述燃烧组件(2)连接有用于输送废气的输送管(4)，所述燃烧组件(2)和水冷组件(3)通过管道相连通，控制板(12)与燃烧组件(2)和水冷组件(3)电性连接。

2.根据权利要求1所述的MOCVD尾气净化处理装置，其特征在于：所述燃烧组件(2)包括分解筒(21)和燃烧筒(22)，所述分解筒(21)竖直设置，所述输送管(4)连接于分解筒(21)下端壁，所述分解筒(21)上端设置有用于对废气进行加热的电热盘(211)，所述燃烧筒(22)安装于分解筒(21)内部，所述燃烧筒(22)上端壁设置有用于控制气体输入的气体输入盘(221)，所述分解筒(21)上端壁设置有用于输入氧气的氧气管(222)，所述氧气管(222)穿过分解筒(21)并插设入燃烧筒(22)内，所述燃烧筒(22)下端壁连接有排水管(223)和排气管(224)。

3.根据权利要求2所述的MOCVD尾气净化处理装置，其特征在于：所述排水管(223)背离燃烧组件(2)的一端连接有水箱(5)，所述水箱(5)内设置有用于抽离水箱(5)内部重水的液泵(51)。

4.根据权利要求2所述的MOCVD尾气净化处理装置，其特征在于：所述分解筒(21)面向控制板(12)的一侧设置有用于隔离分解筒(21)热量的隔离罩(6)。

5.根据权利要求4所述的MOCVD尾气净化处理装置，其特征在于：所述隔离罩(6)上设置有温度探头(61)，所述温度探头(61)的检测端穿过隔离罩(6)，所述温度探头(61)的检测端插设入分解筒(21)内。

6.根据权利要求2所述的MOCVD尾气净化处理装置，其特征在于：所述排气管(224)与水冷组件(3)相连，所述水冷组件(3)包括一次水冷箱(31)和二次水冷箱(32)，所述一次水冷箱(31)水平设置，所述一次水冷箱(31)上表面一端开设有进气口(311)，所述排气管(224)背离燃烧组件(2)的一端与进气口(311)相连通，所述一次水冷箱(31)另一端开设有出气口(312)，所述二次水冷箱(32)竖直设置，所述二次水冷箱(32)下端壁开设有进风口(321)，所述进风口(321)与出气口(312)相连通，所述二次水冷箱(32)上端壁开设有出风口(322)，所述水冷组件(3)上连接有用于提供冷却水的循环组件(7)。

7.根据权利要求6所述的MOCVD尾气净化处理装置，其特征在于：所述循环组件(7)包括储水箱(71)、水泵(72)和若干循环水管(73)，所述储水箱(71)设置于处理台(1)外侧，所述处理台(1)背离控制板(12)的侧壁开设有若干进水口(13)，所述水泵(72)安装于容纳腔(11)底壁，若干所述循环水管(73)将储水箱(71)、进水口(13)和水泵(72)相连通，所述循环水管(73)与排气管(224)、一次水冷箱(31)和二次水冷箱(32)相连通。

8.根据权利要求7所述的MOCVD尾气净化处理装置，其特征在于：所述处理台(1)侧壁设置有用于控制循环组件(7)冷却水流量的流量计(14)，所述流量计(14)设置于控制板(12)下方。