[实用新型]一种硅片倒角吸盘

权利要求书

1.一种硅片倒角吸盘，包括：

吸盘本体（1），

其特征在于，还包括：

吸附道孔（2），所述吸附道孔（2）沿所述吸盘本体（1）的吸附面（10）均布设置，以对硅片进行均匀吸附。

2.根据权利要求1所述的一种硅片倒角吸盘，其特征在于，所述吸附道孔（2）呈与所述硅片的形状相适配的中心对称结构，以沿所述硅片的径向和/或圆周方向均匀施加吸附力。

3.根据权利要求1所述的一种硅片倒角吸盘，其特征在于，所述吸附道孔（2）包括：

分气道（21），若干个所述分气道（21）沿所述吸盘本体（1）的径向开设于所述吸盘本体（1）内且沿圆周阵列分布；

气孔（22），若干个所述气孔（22）均布开设于所述吸附面（10）上且对应与若干个所述分气道（21）连通设置；以及

主气道（23），所述主气道（23）与所述分气道（21）连通设置。

4.根据权利要求3所述的一种硅片倒角吸盘，其特征在于，所述主气道（23）设置为一个且贯穿所述吸盘本体（1）的轴向中心设置。

5.根据权利要求3所述的一种硅片倒角吸盘，其特征在于，所述气孔（22）对应开设于所述分气道（21）上方，且沿每个所述分气道（21）的长度方向分布设置至少一个。

6.根据权利要求3所述的一种硅片倒角吸盘，其特征在于，所述吸附道孔（2）还包括：

槽道（24），所述槽道（24）呈同心环状，其均布凹设于所述吸附面（10）上且与所述气孔（22）连通设置。

7.根据权利要求6所述的一种硅片倒角吸盘，其特征在于，所述吸附面（10）上沿其径向扩散开设有若干个与其同心的环槽（241），该吸附面（10）上位于所述分气道（21）的上方还开设有沿该分气道（21）的长度方向分布的直槽（242），以将内外相邻的所述环槽（241）相互连通，所述环槽（241）以及直槽（242）共同形成所述槽道（24）。

8.根据权利要求7所述的一种硅片倒角吸盘，其特征在于，所述直槽（242）与所述主气道（23）连通设置。

9.根据权利要求1所述的一种硅片倒角吸盘，其特征在于，所述吸盘本体（1）与所述硅片的形状尺寸相适配。

10.根据权利要求1所述的一种硅片倒角吸盘，其特征在于，所述吸盘本体（1）上均布开设有若干个沿其轴向贯穿的安装孔（3）。