[实用新型]一种半导体烘干装置

权利要求书

1.一种半导体烘干装置，其特征在于，包括：

烘干箱，其一侧设有箱门，其内部被配置为烘干室；

转动机构，设置在所述烘干室内；

烘干盘，安装在所述转动机构上；

进风过滤机构，其出风端连接至所述烘干箱的烘干室内；

加热机构，设置在所述烘干室的内侧壁上；及

排风装置，与所述烘干室连通；

其中，所述烘干箱的箱体侧壁内部设有热气回流腔；所述烘干箱的外侧壁上设有引流孔。

2.根据权利要求1所述的一种半导体烘干装置，其特征在于，所述烘干箱的外侧壁上设有保温毛毡。

3.根据权利要求1所述的一种半导体烘干装置，其特征在于，所述转动机构包括：

转轴，竖直安装在所述烘干箱内；

驱动电机，其动力输出端与所述转轴的一端连接；

多根连接杆，沿所述转轴的轴线交错设置；及

放置盘，与所述连接杆的顶部连接，其中部具有用于与所述烘干盘相配合的限位槽。

4.根据权利要求3所述的一种半导体烘干装置，其特征在于，相邻两所述连接杆设置在所述转轴的相对侧壁上。

5.根据权利要求1所述的一种半导体烘干装置，其特征在于，所述烘干盘的顶部设有多组用于固定半导体的固定组件。

6.根据权利要求5所述的一种半导体烘干装置，其特征在于，所述固定组件包括：

第一限位板，安装在所述烘干盘的顶部，其一侧壁上设有第一卡槽；

第二限位板，安装在所述烘干盘的顶部，其与所述第一限位板相对的侧壁上设有第二卡槽；及

调节片，与所述第一卡槽和第二卡槽的槽宽相匹配。

7.根据权利要求6所述的一种半导体烘干装置，其特征在于，所述进风过滤机构包括：

粉尘过滤器；

风机，其进风口与所述粉尘过滤器的出风口连通；及

进风管道，一端与所述风机的出风口连通，另一端连接至所述烘干箱内。

8.根据权利要求1所述的一种半导体烘干装置，其特征在于，所述加热机构为加热电阻丝、微波加热器。

9.根据权利要求1所述的一种半导体烘干装置，其特征在于，所述排风装置包括：

排风管，设置在所述烘干箱内，且与所述热气回流腔连通；

导风板，设置在所述热气回流腔内，其一端与所述热气回流腔的顶部连接，底部与所述热气回流腔的底部之间具有通风间隙；及

引风机，其进风口与所述热气回流腔的顶部连通；

其中，所述引流孔设置在所述热气回流腔的底部。