[实用新型]一种晶圆存放装置

权利要求书

1.一种晶圆存放装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内壁上设置有多个对称的T型板(2)，所述T型板(2)上插装有支撑板(3)，所述支撑板(3)上固定安装有橡胶垫(4)，所述橡胶垫(4)上设置有多个存放盒(5)，所述箱体(1)上安装有进出口(15)，所述进出口(15)上安装有除尘罩(16)；

所述箱体(1)上方安装有第一安装板(6)，所述第一安装板(6)上安装有第一移动机构(7)，所述第一移动机构(7)上固定安装有第二安装板(8)，所述第二安装板(8)上安装有第二移动机构(9)，所述第二移动机构(9)上安装有L型板(10)，所述L型板(10)上通过轴承转动安装有转动块(11)，所述转动块(11)上固定安装有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)上安装有机械爪(13)，所述L型板(10)上安装有第一伺服电机(14)，所述第一伺服电机(14)的输出轴通过联轴器与所述转动块(11)传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆存放装置，其特征在于：所述第一移动机构(7)包括第一丝杆(71)、第一滑块(72)和第二伺服电机(73)，所述第二伺服电机(73)固定安装在所述箱体(1)上，所述第一丝杆(71)的两端均通过轴承转动安装在所述第一安装板(6)上，所述第二伺服电机(73)的输出轴通过联轴器与所述第一丝杆(71)的一端传动连接，所述第一滑块(72)螺纹连接在所述第一丝杆(71)上，且滑动连接在所述第一安装板(6)上，所述第二安装板(8)安装在所述第一滑块(72)上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆存放装置，其特征在于：所述第二移动机构(9)包括第二丝杆(91)、导杆(92)、第三伺服电机(93)和第二滑块(94)，所述第二丝杆(91)的两端均通过轴承转动安装在所述第二安装板(8)上，所述导杆(92)的两端均固定在所述第二安装板(8)上，所述第三伺服电机(93)通过联轴器与所述第二丝杆(91)传动连接，所述第三伺服电机(93)固定安装在所述第二安装板(8)上，所述第二滑块(94)螺纹连接在所述第二丝杆(91)，且滑动安装在所述导杆(92)上，所述L型板(10)固定在所述第二滑块(94)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆存放装置，其特征在于：所述箱体(1)的底面上安装有滑轨(17)，所述第二安装板(8)的底部安装有固定架(18)，所述固定架(18)上安装有滑轮(19)，所述滑轮(19)安装在所述滑轨(17)上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆存放装置，其特征在于：所述箱体(1)上安装有玻璃箱门(20)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆存放装置，其特征在于：所述除尘罩(16)上连接有吸尘管(21)，所述吸尘管(21)的一端连接有负压风泵(22)，所述负压风泵(22)安装在所述箱体(1)上。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆存放装置，其特征在于：所述存放盒(5)内开设有多个等距分布的插槽(23)。