[实用新型]一种硅片表面清洁装置有效

专利信息
申请号: 202123097043.0 申请日: 2021-12-10
公开(公告)号: CN216460370U 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 刘磊;王小波;郑强 申请(专利权)人: 无锡矽晶半导体科技有限公司
主分类号: B08B1/04 分类号: B08B1/04;B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00
代理公司: 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 代理人: 杨强;杨立秋
地址: 214000 江苏省无锡市惠*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 表面 清洁 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种硅片表面清洁装置,包括:装置本体,装置本体的内侧中部水平安装有固定机构,固定机构的两侧分别安装有清洁机构,清洁机构包括清洁箱、限位杆和螺杆,螺杆和限位杆水平设置在装置本体的内部且端部与装置本体转动连接,清洁箱的表面开设有通孔且通过通孔分别与螺杆和限位杆连接,且与螺杆连接的通孔内部设置有内螺纹。本实用新型将硅片夹持在固定机构中,并通过驱动电机带动螺杆转动,从而同时驱动两个清洁机构进行水平移动,并且配合喷头喷出清洁液来将硅片表面打湿,清洁电机带动清洁盘转动,从而通过刷毛来对硅片表面进行清洁,从硅片两面同时清洁,清洁效率高,且清洁的效果佳。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洁装置技术领域,更具体为一种硅片表面清洁装置。

背景技术

目前在太阳能电池片的生产过程中,采用对硅片表面进行吹气的操作来去除硅片表面的杂质,但是,有些杂质并不能被有效的吹走,这些杂质残留在硅片表面,就会影响后续的使用。也可对硅片进行刷洗或擦洗。

目前,现有的硅片清洁装置,对硅片单面清洁,且在单面清洁完成后将硅片翻转,再对另一面进行清洁,清洁的效率低。为此,需要设计一个新的方案给予改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片表面清洁装置,解决了现有的硅片清洁装置,对硅片单面清洁,且在单面清洁完成后将硅片翻转,再对另一面进行清洁,清洁的效率低的问题,满足实际使用需求。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片表面清洁装置,包括:装置本体,所述装置本体的内侧中部水平安装有固定机构,所述固定机构的两侧分别安装有清洁机构,所述清洁机构包括清洁箱、限位杆和螺杆,所述螺杆和限位杆水平设置在装置本体的内部且端部与装置本体转动连接,所述清洁箱的表面开设有通孔且通过通孔分别与螺杆和限位杆连接,且与螺杆连接的通孔内部设置有内螺纹;

所述清洁箱的表面中部向内凹陷并连接有清洁电机,所述清洁电机的动力输出端上安装有清洁盘,所述清洁盘的表面设置有刷毛且刷毛的端部与固定机构表面连接。

作为本实用新型的一种优选方式,所述装置本体的外壁上端安装有驱动电机,所述驱动电机的动力输出端与固定机构上方的螺杆连接,且两个螺杆的末端均延伸至装置本体外侧壁连接有传动轮,两个所述传动轮采用传动带连接。

作为本实用新型的一种优选方式,所述固定机构包括两个固定板和安装在两个固定板之间的底盒和盒盖,所述底盒和盒盖采用铰链转动连接,且底盒和盒盖的表面均开设有安装槽,所述安装槽的内壁一侧固定有挡板,所述固定板与装置本体的内壁连接。

作为本实用新型的一种优选方式,所述装置本体的内部形成有储液箱,所述储液箱的顶部安装有过滤网,储液箱的内部固定有水泵。

作为本实用新型的一种优选方式,所述水泵的动力输出端上安装有连接管,所述连接管呈T型结构且一端竖直向上延伸、另一端向左侧水平延伸并固定有导液管,所述导液管呈冂字形结构且由装置本体外侧向上延伸,所述导液管和连接管的上端均安装伸缩软管,所述伸缩软管的末端分别与两个清洁箱连接。

作为本实用新型的一种优选方式,所述清洁箱的内部开设有与伸缩软管连通的导液腔,清洁箱的端部固定有喷头。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

本实用新型,将硅片夹持在固定机构中,并通过驱动电机带动螺杆转动,从而同时驱动两个清洁机构进行水平移动,并且配合喷头喷出清洁液来将硅片表面打湿,清洁电机带动清洁盘转动,从而通过刷毛来对硅片表面进行清洁,从硅片两面同时清洁,清洁效率高,且清洁的效果佳。

附图说明

图1为本实用新型所述硅片表面清洁装置的外部结构图;

图2为本实用新型所述硅片表面清洁装置的正式图;

图3为本实用新型固定机构的结构图;

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡矽晶半导体科技有限公司,未经无锡矽晶半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202123097043.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top