[实用新型]一种硅片表面清洁装置

权利要求书

1.一种硅片表面清洁装置，包括：装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）的内侧中部水平安装有固定机构（7），所述固定机构（7）的两侧分别安装有清洁机构，所述清洁机构包括清洁箱（4）、限位杆（6）和螺杆（8），所述螺杆（8）和限位杆（6）水平设置在装置本体（1）的内部且端部与装置本体（1）转动连接，所述清洁箱（4）的表面开设有通孔（22）且通过通孔（22）分别与螺杆（8）和限位杆（6）连接，且与螺杆（8）连接的通孔（22）内部设置有内螺纹；

所述清洁箱（4）的表面中部向内凹陷并连接有清洁电机（13），所述清洁电机（13）的动力输出端上安装有清洁盘（12），所述清洁盘（12）的表面设置有刷毛且刷毛的端部与固定机构（7）表面连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置，其特征在于：所述装置本体（1）的外壁上端安装有驱动电机（2），所述驱动电机（2）的动力输出端与固定机构（7）上方的螺杆（8）连接，且两个螺杆（8）的末端均延伸至装置本体（1）外侧壁连接有传动轮（10），两个所述传动轮（10）采用传动带（9）连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置，其特征在于：所述固定机构（7）包括两个固定板（18）和安装在两个固定板（18）之间的底盒（17）和盒盖（19），所述底盒（17）和盒盖（19）采用铰链转动连接，且底盒（17）和盒盖（19）的表面均开设有安装槽（20），所述安装槽（20）的内壁一侧固定有挡板（21），所述固定板（18）与装置本体（1）的内壁连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置，其特征在于：所述装置本体（1）的内部形成有储液箱（5），所述储液箱（5）的顶部安装有过滤网（14），储液箱（5）的内部固定有水泵（15）。

5.根据权利要求4所述的一种硅片表面清洁装置，其特征在于：所述水泵（15）的动力输出端上安装有连接管（16），所述连接管（16）呈T型结构且一端竖直向上延伸、另一端向左侧水平延伸并固定有导液管（3），所述导液管（3）呈冂字形结构且由装置本体（1）外侧向上延伸，所述导液管（3）和连接管（16）的上端均安装伸缩软管（11），所述伸缩软管（11）的末端分别与两个清洁箱（4）连接。

6.根据权利要求5所述的一种硅片表面清洁装置，其特征在于：所述清洁箱（4）的内部开设有与伸缩软管（11）连通的导液腔（24），清洁箱（4）的端部固定有喷头（23）。