[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202122941236.3 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN216391411U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 朱燕 | 申请（专利权）人： | 荣成歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;B01D46/54;B81B7/02 |
| 代理公司： | 潍坊正信致远知识产权代理有限公司 37255 | 代理人： | 于治洪 |
| 地址： | 264300 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
1.MEMS麦克风，包括电路板，设置在所述电路板上且与所述电路板电连接的MEMS芯片和ASIC芯片，以及设置在所述电路板上用于封装所述MEMS芯片和所述ASIC芯片的封装壳，所述电路板上开设有声孔，其特征在于，
所述电路板上对应所述声孔的位置处设置有抗吹击片，所述抗吹击片上设置有抗吹击孔，所述抗吹击孔与所述声孔不完全对位；所述抗吹击片上设置有防尘膜，所述防尘膜覆盖所述抗吹击孔；所述MEMS芯片设置在所述防尘膜上。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述抗吹击孔的轮廓由两条线段和两段第一圆弧线共同围成，两所述线段间隔设置，其中一段所述第一圆弧线连接在两所述线段的一端，另一段所述第一圆弧线连接在两所述线段的另一端。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，两所述线段平行设置；两所述第一圆弧线直径相同，且所述第一圆弧线的直径大于两所述线段之间的间距。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述抗吹击孔包括两个平行四边形孔，两所述平行四边形孔共用一个顶点。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述平行四边形孔为菱形孔。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述抗吹击孔的轮廓由四段第二圆弧线共同围成，四段所述第二圆弧线首尾顺次相接。
7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述防尘膜粘贴在所述抗吹击片上。
8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述抗吹击片粘贴在所述电路板上。
9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述声孔由多个通孔组成。
10.根据权利要求9所述的MEMS麦克风，其特征在于，所有所述通孔呈圆形阵列。
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