[实用新型]一种新型动态压力传感器

说明书

本实用新型公开了一种新型动态压力传感器，包括电涡流位移传感器、上密封外壳、真空外壁及下密封外壳；上密封外壳、真空外壁及下密封外壳自上到下依次连接，上密封外壳上设置有通孔，真空外壁上设置有真空隔热腔，下密封外壳上设置有引压孔，其中，所述通孔与真空隔热腔相连通；电涡流位移传感器的探头自上到下插入于所述通孔内，下密封外壳与真空外壁之间设置有隔热材料层，隔热材料层的中部设置有金属感受膜片，真空隔热腔与引压孔之间通过金属感受膜片分隔，该压力传感器具有成本低以及耐高温的特点。

技术领域

本实用新型涉及一种压力传感器，具体涉及一种新型动态压力传感器。

背景技术

随着科学技术与现代工业的发展，广泛存在高温、高压、强湍流等复杂条件下的压力测量需求，特别是在军工、航空航天、燃气轮机民用发电等领域。在监测火箭和导弹发动机燃烧室、航空发动机燃烧室、燃气轮机燃烧室内燃气压力时，经常要面对超过1500℃的高温环境，常规非耐高温传感器的性能会严重恶化甚至失效，远不能满足压力测量要求。

目前用于高温测量的动态压力传感器主要有压阻式和压电式两种。压阻式动态压力传感器的工作原理是利用半导体压阻效应，即当半导体材料沿着某一晶向受到一定压力时，其电阻率会发生变化，这种变化量与所加压力的大小成正比关系。因此可采用在硅杯上布置四个大小相等、受力方向两两不同的电阻并联成惠斯登电桥，当硅杯膜片不受外界压力时，扩散电阻阻值不发生变化，电桥输出为零，当硅杯膜片受到外界压力时，电桥上电阻发生变化引起输出电压变化，通过对输出电压的测量即可测出被测压力值。压电式动态压力传感器是以压电效应为工作原理的传感器，利用压电材料在受到外力作用时表面会形成电荷，通过电荷放大器、测量电路的放大以及变换阻抗以后，将压力转变成电量输出。

综上分析可看出压阻式和压电式动态压力传感器都需将压力信号转变为电信号，需要在测量元件上引线测量压力转换后的电压或电荷信号。但在实际使用过程中，经常存在因高温烧断引线导致传感器失效的问题；此外压阻式和压电式动态压力传感器的引线布置工艺非常复杂，需要采用光刻技术形成引线孔，传感器生产成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种新型动态压力传感器，该压力传感器具有成本低以及耐高温的特点。

为达到上述目的，本实用新型所述的新型动态压力传感器包括电涡流位移传感器、上密封外壳、真空外壁及下密封外壳；

上密封外壳、真空外壁及下密封外壳自上到下依次连接，上密封外壳上设置有通孔，真空外壁上设置有真空隔热腔，下密封外壳上设置有引压孔，其中，所述通孔与真空隔热腔相连通；

电涡流位移传感器的探头自上到下插入于所述通孔内，下密封外壳与真空外壁之间设置有隔热材料层，隔热材料层的中部设置有金属感受膜片，真空隔热腔与引压孔之间通过金属感受膜片分隔。

电涡流位移传感器、上密封外壳、真空外壁及下密封外壳的轴线重合。

真空外壁与上密封外壳之间通过安装螺母相连接，其中，安装螺母套接于真空外壁及上密封外壳的外壁上。

下密封外壳的底部设置有密封膜，其中，引压孔的下端通过密封膜封闭，且密封膜上设置有若干引气过滤孔，各引气过滤孔正对所述引压孔。

各引气过滤孔均匀分布。

电涡流位移传感器的探头直径为5mm，长为20mm；

上密封外壳的外径为12mm，内径为5mm，高为18mm；

真空外壁的外径为12mm，内径为5mm，高为2mm；

下密封外壳的外径为10mm，内径为6mm，高为6mm；

金属感受膜片的外径为8mm，厚度为1mm；引气过滤孔的孔径为0.5mm。