[实用新型]一种新型动态压力传感器

权利要求书

1.一种新型动态压力传感器，其特征在于，包括电涡流位移传感器(1)、上密封外壳(2)、真空外壁(3)及下密封外壳(5)；

上密封外壳(2)、真空外壁(3)及下密封外壳(5)自上到下依次连接，上密封外壳(2)上设置有通孔，真空外壁(3)上设置有真空隔热腔(9)，下密封外壳(5)上设置有引压孔(6)，其中，所述通孔与真空隔热腔(9)相连通；

电涡流位移传感器(1)的探头自上到下插入于所述通孔内，下密封外壳(5)与真空外壁(3)之间设置有隔热材料层(4)，隔热材料层(4)的中部设置有金属感受膜片(8)，真空隔热腔(9)与引压孔(6)之间通过金属感受膜片(8)分隔。

2.根据权利要求1所述的新型动态压力传感器，其特征在于，电涡流位移传感器(1)、上密封外壳(2)、真空外壁(3)及下密封外壳(5)的轴线重合。

3.根据权利要求1所述的新型动态压力传感器，其特征在于，真空外壁(3)与上密封外壳(2)之间通过安装螺母(10)相连接，其中，安装螺母(10)套接于真空外壁(3)及上密封外壳(2)的外壁上。

4.根据权利要求1所述的新型动态压力传感器，其特征在于，下密封外壳(5)的底部设置有密封膜(7)，其中，引压孔(6)的下端通过密封膜(7)封闭，且密封膜(7)上设置有若干引气过滤孔，各引气过滤孔正对所述引压孔(6)。

5.根据权利要求4所述的新型动态压力传感器，其特征在于，各引气过滤孔均匀分布。

6.根据权利要求4所述的新型动态压力传感器，其特征在于，电涡流位移传感器(1)的探头直径为5mm，长为20mm；

上密封外壳(2)的外径为12mm，内径为5mm，高为18mm；

真空外壁(3)的外径为12mm，内径为5mm，高为2mm；

下密封外壳(5)的外径为10mm，内径为6mm，高为6mm；

金属感受膜片(8)的外径为8mm，厚度为1mm；引气过滤孔的孔径为0.5mm。

7.根据权利要求1所述的新型动态压力传感器，其特征在于，上密封外壳(2)与真空外壁(3)通过扩散焊连接。

8.根据权利要求1所述的新型动态压力传感器，其特征在于，通过扩散焊将真空外壁(3)与下密封外壳(5)连接。