[实用新型]一种合片工艺错位数据的检测装置

说明书

本实用新型涉及公开了一种合片工艺错位数据的检测装置，属于半导体封装技术领域。包括：合片加工设备、PC端和至少两个内窥摄像头；所述合片加工设备包括：翻转台和载台，所述翻转台的一方设置有上框架，所述内窥摄像头设置在所述翻转台上，并且与所述上框架在同一方，所述内窥摄像头与所述PC端通信连接，所述载台设置在所述翻转台的下方，所述载台用于放置石墨盘。实现了实时监控生产线的生产数据，可以发现不同载体之间是否存在合片数据的差异，不会造成生产线料片的浪费节约了成本，可以做到每片、每时、每模监控，在后续出现异常时，便于调试与监控同时进行，若出现异常品，便于数据追踪，并且便于监控设备机台的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体封装技术领域，特别涉及一种合片工艺错位数据的检测装置。

背景技术

当前焊接生产工艺采用合片工艺，需要实施监控生产过程中实际合片错位量，由于上下片均有定位针导向，要准确测量上下合片精度，避免石墨盘定位针导向的干扰，采取把石墨盘定位针取掉，在石墨盘上用胶带固定住下片，然后合片翻转台合上下片后再测量。

现有测量方式的弊端有以下几点：1、由于下片没有定位针固定，仅通过胶带粘贴，下片位置会有变动，影响测量真实数据；2、需要制作一块固定的石墨盘来测量，因此现有测量方式无法检测其他生产用的石墨盘的数据；3、每次测量需要选取产线料片，因此浪费量大，且不能重复使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中所存在的下片位置变动，影响测量真实数据、无法检测其他生产用的石墨盘的数据以及料片浪费量大，并且不能重复使用的不足，提供一种合片工艺错位数据的检测装置。

为了实现上述实用新型目的，本实用新型提供了以下技术方案：

一种合片工艺错位数据的检测装置，包括：

合片加工设备、PC端和至少两个内窥摄像头，所述合片加工设备包括：翻转台和载台；

所述翻转台的一方设置有上框架，所述翻转台用于真空吸附并翻转上片；

所述内窥摄像头设置在所述翻转台上，并且与所述上框架在同一方向，所述内窥摄像头与所述PC端通信连接，所述PC端包括显示屏，所述内窥摄像头的型号为BEbird（K10）；

所述载台设置在所述翻转台的下方，所述载台用于放置石墨盘；

所述内窥摄像头用于对错位数据进行图像信息采集；

所述PC端用于显示所述内窥摄像头采集到的图像信息，对所述图像信息进行分析对比，计算出两个圆孔相切部分的长度，并和预先设定的阈值进行对比，来判断数据偏差是否超过阈值。

采用上述技术方案，实现了实时监控生产线的生产数据，可以发现不同载体之间是否存在合片数据的差异；不会造成生产线料片的浪费节约了成本，可以做每片、每时 、每模监控；并且在后续出现异常时，便于调试与监控同时进行；在出现异常品时，便于数据追踪；同时便于监控设备机台的稳定性。

作为本实用新型的优选方案，所述石墨盘上方设置有下框架。

作为本实用新型的优选方案，所述内窥摄像头采集的所述错位数据为所述上框架和所述下框架的圆孔位置。

作为本实用新型的优选方案，所述上框架和所述下框架分别用于放置上片和下片。

作为本实用新型的优选方案，所述内窥摄像头与所述PC端之间的连接方式为USB线连接、蓝牙连接或局域网连接中的一种。

作为本实用新型的优选方案，所述PC端还包括报警装置，用于报警并发出停机指令，在对错位数据进行分析的过程中，若出现数据偏差超过范围，将对设备进行报警停机，再次启动时需要先调试设备。