[实用新型]一种合片工艺错位数据的检测装置

权利要求书

1.一种合片工艺错位数据的检测装置，其特征在于，包括：合片加工设备（5）、PC端和至少两个内窥摄像头（3），所述合片加工设备（5）包括：翻转台（2）和载台（4）；

所述翻转台（2）的一方设置有上框架（6），所述翻转台（2）用于真空吸附并翻转上片；

所述内窥摄像头（3）设置在所述翻转台（2）上，并且与所述上框架（6）在同一方向，所述内窥摄像头（3）与所述PC端通信连接，所述PC端包括显示屏；

所述载台（4）设置在所述翻转台（2）的下方，所述载台（4）用于放置石墨盘（1）。

2.根据权利要求1所述的一种合片工艺错位数据的检测装置，其特征在于，所述石墨盘（1）上方设置有下框架（7）。

3.根据权利要求2所述的一种合片工艺错位数据的检测装置，其特征在于，所述内窥摄像头（3）采集的所述错位数据为上框架（6）和下框架（7）的圆孔位置。

4.根据权利要求3所述的一种合片工艺错位数据的检测装置，其特征在于，所述上框架（6）和所述下框架（7）分别用于放置上片和下片。

5.根据权利要求1所述的一种合片工艺错位数据的检测装置，其特征在于，所述内窥摄像头（3）与所述PC端之间的连接方式为USB线连接、蓝牙连接或局域网连接中的一种。

6.根据权利要求1所述的一种合片工艺错位数据的检测装置，其特征在于，所述PC端还包括报警装置。