[实用新型]一种用于插片机的硅片多段导向机构有效
申请号: | 202122697805.4 | 申请日: | 2021-11-05 |
公开(公告)号: | CN216213332U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 陈川南;周裕吉 | 申请(专利权)人: | 无锡京运通科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 姬颖敏 |
地址: | 214183 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 插片机 硅片 导向 机构 | ||
1.一种用于插片机的硅片多段导向机构,包括支撑杆(1)、支撑块(2)、转动轴(3)、带轮一(4)、传送带(5)、导向板(6)以及驱动电机一(7),所述支撑杆(1)设有两组,两组所述支撑杆(1)顶端均匀固定安装有两个以上支撑块(2),且支撑块(2)内部转动安装有转动轴(3),所述转动轴(3)环形侧面上固定安装有带轮一(4),且相邻的带轮一(4)之间通过传送带(5)相连接,其中一个所述支撑块(2)上固定安装有驱动电机一(7),且驱动电机一(7)一端与其中一个转动轴(3)固定连接,两个所述支撑杆(1)顶端均固定安装有导向板(6),其特征在于,两个所述支撑杆(1)上均固定安装有L型架(8),所述L型架(8)顶端固定安装有驱动电机二(9),且驱动电机二(9)底端转动安装有圆杆一(10),所述圆杆一(10)滑动安装于L型架(8)上,所述L型架(8)上均匀滑动安装两个以上圆杆二(12),所述圆杆一(10)环形侧面上固定安装有带轮二(11),且圆杆二(12)环形侧面转动安装有带轮二(11),所述带轮二(11)之间通过导向皮带(13)相连接,所述L型架(8)顶端开设有矩形槽,且矩形槽内部滑动安装有滑块一(16),所述滑块一(16)顶端转动安装有螺杆(17),所述螺杆(17)环形侧面上安装有螺母,且螺母外侧固定安装有滑块二(18),所述L型架(8)上侧安装有压杆一(19),所述圆杆二(12)顶端固定安装在压杆一(19)底端,所述压杆一(19)顶端开设有方形通孔,所述滑块二(18)滑动安装在方形通孔内部,所述驱动电机二(9)上的输出轴环形侧面上固定安装有齿轮一(14),所述螺杆(17)环形侧面上固定安装有齿轮二(15),且齿轮一(14)环形侧面与齿轮二(15)环形侧面相啮合。
2.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片多段导向机构,其特征在于,所述圆杆二(12)环形侧面上固定安装有压杆二(20),且压杆二(20)一端延伸至圆杆一(10)上并固定安装在圆杆一(10)上,所述压杆二(20)底端与带轮二(11)顶端相贴合。
3.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片多段导向机构,其特征在于,所述方形通孔内部对称开设两个导向槽(23),所述滑块二(18)上对称固定安装两个方块(24),且方块(24)滑动安装在导向槽(23)内部。
4.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片多段导向机构,其特征在于,所述螺杆(17)环形侧面上转动安装有转动筒(26),所述转动筒(26)环形侧面上固定安装有把持杆(25)。
5.根据权利要求3所述的一种用于插片机的硅片多段导向机构,其特征在于,所述螺杆(17)环形侧面上安装有轴承,且轴承外侧固定安装在滑块一(16)内部。
6.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片多段导向机构,其特征在于,所述矩形槽内部固定安装有导杆(21),所述导杆(21)环形侧面上滑动安装有滑块一(16),所述导杆(21)环形侧面上安装有弹簧(22),所述弹簧(22)两端分别固定安装在滑块一(16)上以及矩形槽内壁上。
7.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片多段导向机构,其特征在于,所述驱动电机二(9)上的输出轴底端开设有六棱槽,所述圆杆一(10)顶端固定安装有六棱块,所述六棱块安装在六棱槽内部。
8.根据权利要求7所述的一种用于插片机的硅片多段导向机构,其特征在于,所述六棱块顶端中间位置固定安装有复位弹簧,且复位弹簧顶端固定安装在六棱槽内部顶端。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造