[实用新型]一种用于自动固晶机的送料结构有效
| 申请号: | 202122683805.9 | 申请日: | 2021-11-04 |
| 公开(公告)号: | CN216528799U | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
| 发明(设计)人: | 江利雄;刘建云;王进华;王志 | 申请(专利权)人: | 广东长华科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人: | 刘秋英 |
| 地址: | 516000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 自动 固晶机 结构 | ||
1.一种用于自动固晶机的送料结构,包括凹字形底板(9)以及固定在凹字形底板(9)右端前侧的固定底板(1),所述凹字形底板(9)上端后侧固定连接有用于滑动工作和支撑工作的长滑轨组件(13),其特征在于:所述凹字形底板(9)上端前侧和固定底板(1)上端均设有用于驱动工作的驱动机构,所述驱动机构中间外壁驱动连接有用于安装工作和支撑工作的卡槽式固定座(12),且卡槽式固定座(12)与长滑轨组件(13)滑动连接,所述卡槽式固定座(12)前侧卡接有用于支撑工作和安装工作的卡柱式支撑板(5),所述卡柱式支撑板(5)前端设有用于送料工作的伸缩送料机构。
2.根据权利要求1所述的一种用于自动固晶机的送料结构,其特征在于:所述卡槽式固定座(12)包括固定滑槽(121)、内螺纹孔(122)、固定卡槽(123)、固定插槽(124)和固定连接座(125),所述固定连接座(125)前端中间开设有固定插槽(124),所述固定连接座(125)左右两端前侧开设有固定卡槽(123),且两个固定卡槽(123)与固定插槽(124)连通,所述固定连接座(125)中间开设有内螺纹孔(122),所述固定连接座(125)后侧底部开设有固定滑槽(121)。
3.根据权利要求1所述的一种用于自动固晶机的送料结构,其特征在于:所述卡柱式支撑板(5)包括固定支撑板(51)、弹簧卡柱(52)和固定插柱(53),所述固定支撑板(51)后端上侧固定连接有固定插柱(53),所述固定插柱(53)左右两侧套接有弹簧卡柱(52)。
4.根据权利要求1所述的一种用于自动固晶机的送料结构,其特征在于:所述驱动机构包括电机固定座(2)、联轴器(3)、轴承座(10)、丝杆(11)和伺服电机(14),所述丝杆(11)左右两侧外壁设有轴承座(10),两个所述轴承座(10)上侧内部套接有轴承,且两个轴承套接在丝杆(11)左右两侧外壁,两个所述轴承座(10)固定安装在凹字形底板(9)上端两侧,所述电机固定座(2)固定在固定底板(1)上端,所述固定底板(1)上侧内部安装有伺服电机(14),且伺服电机(14)通过联轴器(3)与丝杆(11)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于自动固晶机的送料结构,其特征在于:所述长滑轨组件(13)包括长连接柱(131)和工字型长滑轨(132),所述工字型长滑轨(132)位于长连接柱(131)上端,且工字型长滑轨(132)与卡槽式固定座(12)滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于自动固晶机的送料结构,其特征在于:所述伸缩送料机构包括短滑轨(4)、滑动气动送料机构(6)、电动液压杆(7)和液压杆固定座(8),所述液压杆固定座(8)固定在卡柱式支撑板(5)前端上侧,所述液压杆固定座(8)中间安装有电动液压杆(7),所述短滑轨(4)固定在卡柱式支撑板(5)前端下侧,所述短滑轨(4)外壁滑动连接有滑动气动送料机构(6),且滑动气动送料机构(6)通过紧固螺栓与电动液压杆(7)中的伸缩杆的下侧外壁固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种用于自动固晶机的送料结构,其特征在于:所述滑动气动送料机构(6)包括电磁气动阀、连接管和吸盘,连接管位于电磁气动阀下端,吸盘位于连接管下端。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





