[实用新型]一种晶圆贴膜机的收料机构

说明书

本实用新型涉及晶圆贴膜机的技术领域，特别是涉及一种晶圆贴膜机的收料机构，其便于将贴膜完成后的晶圆取出，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性；包括设备箱、贴膜箱、控制面板、风机、放置槽、安装架、第一转辊、移动架、第二转辊、第一电机、传动机构、动力机构和贴膜机构，贴膜箱安装在设备箱上，控制面板安装在贴膜箱上，设备箱内部设置有腔室，风机安装在设备箱腔室内，放置槽安装在风机上，放置槽上设置有若干组风口，贴膜机构安装在贴膜箱上并位于放置槽的上方，安装架安装在设备箱上，第一转辊安装在安装架上并相对转动，移动架安装在设备箱上并相对滑动，第二转辊安装在移动架上并相对转动，第一电机安装在移动架上。

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴膜机的技术领域，特别是涉及一种晶圆贴膜机的收料机构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆；现有的晶圆贴膜机贴膜完成后，收料效果较差，不方便将贴膜完成的晶圆取出。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种便于将贴膜完成后的晶圆取出，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性的晶圆贴膜机的收料机构。

本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，包括设备箱、贴膜箱、控制面板、风机、放置槽、安装架、第一转辊、移动架、第二转辊、第一电机、传动机构、动力机构和贴膜机构，贴膜箱安装在设备箱上，控制面板安装在贴膜箱上，设备箱内部设置有腔室，风机安装在设备箱腔室内，放置槽安装在风机上，放置槽上设置有若干组风口，贴膜机构安装在贴膜箱上并位于放置槽的上方，安装架安装在设备箱上，第一转辊安装在安装架上并相对转动，移动架安装在设备箱上并相对滑动，第二转辊安装在移动架上并相对转动，第一电机安装在移动架上，第一电机的输出端与第二转辊的输入端连接，动力机构安装在设备箱腔室内，动力机构的输出端与传动机构的输入端连接，传动机构安装在设备箱腔室内，移动架与传动机构连接。

本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述传动机构包括螺母座、丝杠、主动轮、皮带和从动轮，所述设备箱上设置有滑槽，移动架与滑槽滑动连接，移动架安装在螺母座上，螺母座通过螺纹与丝杠连接，丝杠安装在设备箱腔室内并相对转动，主动轮安装在丝杠上，主动轮通过皮带与从动轮带传动，从动轮安装在动力机构的输出端。

本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述动力机构包括减速机和第二电机，从动轮安装在减速机上，减速机和第二电机均安装在设备箱腔室内，第二电机的输出端与减速机的输入端连接。

本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述贴膜机构包括气缸和贴膜装置，气缸安装在贴膜箱上，气缸的输出端设置有活塞杆，贴膜装置安装在活塞杆上。

本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，还包括压板，压板安装在活塞杆上。

本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，还包括检修板和螺栓，检修板安装在设备箱上，螺栓安装在检修板上并与设备箱连接。

本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述检修板上设置有若干组散热风口。

本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述贴膜箱上设置有密封门。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：

膜收卷在第一转辊上，晶圆放置在放置槽内，打开风机，风机通过风口进行抽风，对晶圆进行固定，动力机构通过传动机构带动移动架移动，移动架通过第二转辊对膜进行拖拽，使膜覆盖在晶圆上方，贴膜机构对晶圆进行贴膜，膜切割完成后，打开第一电机，第一电机对切割后的膜进行收卷，收卷的同时移动架带动第二转辊向第一转辊方向移动，便于将贴膜完成后的晶圆取出，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；