[实用新型]一种晶圆贴膜机的收料机构

权利要求书

1.一种晶圆贴膜机的收料机构，其特征在于，包括设备箱(1)、贴膜箱(2)、控制面板(3)、风机(4)、放置槽(5)、安装架(7)、第一转辊(8)、移动架(9)、第二转辊(10)、第一电机(11)、传动机构、动力机构和贴膜机构，贴膜箱(2)安装在设备箱(1)上，控制面板(3)安装在贴膜箱(2)上，设备箱(1)内部设置有腔室，风机(4)安装在设备箱(1)腔室内，放置槽(5)安装在风机(4)上，放置槽(5)上设置有若干组风口(6)，贴膜机构安装在贴膜箱(2)上并位于放置槽(5)的上方，安装架(7)安装在设备箱(1)上，第一转辊(8)安装在安装架(7)上并相对转动，移动架(9)安装在设备箱(1)上并相对滑动，第二转辊(10)安装在移动架(9)上并相对转动，第一电机(11)安装在移动架(9)上，第一电机(11)的输出端与第二转辊(10)的输入端连接，动力机构安装在设备箱(1)腔室内，动力机构的输出端与传动机构的输入端连接，传动机构安装在设备箱(1)腔室内，移动架(9)与传动机构连接。

2.如权利要求1所述的一种晶圆贴膜机的收料机构，其特征在于，所述传动机构包括螺母座(13)、丝杠(14)、主动轮(15)、皮带(16)和从动轮(17)，所述设备箱(1)上设置有滑槽(12)，移动架(9)与滑槽(12)滑动连接，移动架(9)安装在螺母座(13)上，螺母座(13)通过螺纹与丝杠(14)连接，丝杠(14)安装在设备箱(1)腔室内并相对转动，主动轮(15)安装在丝杠(14)上，主动轮(15)通过皮带(16)与从动轮(17)带传动，从动轮(17)安装在动力机构的输出端。

3.如权利要求2所述的一种晶圆贴膜机的收料机构，其特征在于，所述动力机构包括减速机(18)和第二电机(19)，从动轮(17)安装在减速机(18)上，减速机(18)和第二电机(19)均安装在设备箱(1)腔室内，第二电机(19)的输出端与减速机(18)的输入端连接。

4.如权利要求1所述的一种晶圆贴膜机的收料机构，其特征在于，所述贴膜机构包括气缸(20)和贴膜装置(22)，气缸(20)安装在贴膜箱(2)上，气缸(20)的输出端设置有活塞杆(21)，贴膜装置(22)安装在活塞杆(21)上。

5.如权利要求4所述的一种晶圆贴膜机的收料机构，其特征在于，还包括压板(23)，压板(23)安装在活塞杆(21)上。

6.如权利要求1所述的一种晶圆贴膜机的收料机构，其特征在于，还包括检修板(24)和螺栓(25)，检修板(24)安装在设备箱(1)上，螺栓(25)安装在检修板(24)上并与设备箱(1)连接。

7.如权利要求6所述的一种晶圆贴膜机的收料机构，其特征在于，所述检修板(24)上设置有若干组散热风口(26)。

8.如权利要求1所述的一种晶圆贴膜机的收料机构，其特征在于，所述贴膜箱(2)上设置有密封门。