[实用新型]一种半导体测试模块

权利要求书

1.一种半导体测试模块，包括模块支架(2)，其特征在于，所述模块支架(2)上安装有测试针模块(1)，模块支架(2)还与一调节组件相连，测试针模块(1)包括测试针(1-5)、滑块(1-6)、滑块座(1-8)、限位块(1-3)和底座(1-1)，底座(1-1)安装在模块支架(2)上，滑块座(1-8)安装在底座(1-1)上，滑块(1-6)能上下移动地设置在滑块座(1-8)上，滑块(1-6)还与一弹性复位件(1-2)连接，限位块(1-3)连接在滑块(1-6)上，限位块(1-3)上具有物料放置槽(1-3x)，测试针(1-5)安装在底座(1-1)上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述测试针模块(1)还包括安装座(1-7)和盖板(1-4)，安装座(1-7)安装在底座(1-1)上，安装座(1-7)上具有用于安装测试针(1-5)的安装槽(1-7x)，盖板(1-4)安装在安装座(1-7)上，盖板(1-4)上还具有与测试针(1-5)相配合的定位凸块(1-4x)。

3.根据权利要求1或2所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述调节组件包括XY轴调节板(5)、Z轴立柱(4)和Z轴调节螺丝(3)，Z轴立柱(4)安装在XY轴调节板(5)上，模块支架(2)滑动连接在Z轴立柱(4)上，模块支架(2)上安装有连接件(8)，Z轴调节螺丝(3)螺纹连接在连接件(8)上，Z轴调节螺丝(3)端部与Z轴立柱(4)相抵靠。

4.根据权利要求3所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述Z轴立柱(4)上具有条形孔，模块支架(2)上具有螺纹孔，锁紧螺栓(9)穿过条形孔与螺纹孔螺纹连接。

5.根据权利要求3或4所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述模块支架(2)一侧具有呈凸出的导向条(2y)，模块支架(2)另一侧具有导向片(2x)，导向条(2y)与导向片(2x)两者之间形成用于与Z轴立柱(4)滑动连接的导向部。

6.根据权利要求3所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述Z轴立柱(4)安装在连接座(10)上，连接座(10)安装在XY轴调节板(5)上。

7.根据权利要求1所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述滑块(1-6)上还具有用于限制限位块(1-3)的限制部(1-6x)。

8.根据权利要求1所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述限位块(1-3)粘连在滑块(1-6)上。

9.根据权利要求1所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述限位块(1-3)的选材为陶瓷。