[实用新型]键合机四排式铜框架单列键合机构有效
申请号: | 202122603449.5 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN216250678U | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 李健 | 申请(专利权)人: | 江苏东海半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/60 |
代理公司: | 无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625 | 代理人: | 巫琴珠 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 键合机四排式铜 框架 单列 机构 | ||
本实用新型是键合机四排式铜框架单列键合机构,其结构包括位于在铜框架料道中部上方的安装板,安装板前后两端延伸至铜框架料道两侧面外侧并分别连接一升降驱动装置的输出端,安装板中部开有矩形口,矩形口两侧均匀开有若干对螺孔,四个定位爪分别通过连接螺孔的一对副螺钉安装在安装板上。本实用新型的优点:可方便调节整体定位机构的位置,或是微调各芯片对应定位结构的位置,键合时,定位机构升降稳定,各定位机构定位准确,可有效提高键合质量,各结构更换检修方便,适用性高,可有效满足各种生产需要。
技术领域
本实用新型涉及的是键合机四排式铜框架单列键合机构,属于半导体分立器件制造技术领域。
背景技术
电子产品根据其导电性能分为导体和绝缘体,半导体介于导体和绝缘体之间,半导体元器件以封装形式又分为分立和集成。
半导体分立器件制造中,在对铜框架进行粘片后,需要进行键合,又称打丝,将芯片与管脚进行物理连接,一般使用铝线或铜线。
其中一种半导体分立器件铜框架为四排芯片相互连接式,现有技术铜框架的定位机构存在定位不稳定的问题,导致键合时可能存在芯片位置偏移,影响键合质量;且定位机构针对不同型号铜框架需要整体更换,适用性较差。
实用新型内容
本实用新型提出的是键合机四排式铜框架单列键合机构,其目的旨在克服现有技术存在的上述不足,提高定位稳定性,且易于更换定位机构部件,提高适用性。
本实用新型的技术解决方案:键合机四排式铜框架单列键合机构,其结构包括位于在铜框架料道中部上方的安装板,安装板前后两端延伸至铜框架料道两侧面外侧并分别连接一升降驱动装置的输出端,安装板中部开有矩形口,矩形口两侧均匀开有若干对螺孔,四个定位爪分别通过连接螺孔的一对副螺钉安装在安装板上。
优选的,所述的安装板前后两端分别开有主槽孔,每个主槽孔内设一主螺钉,安装板通过主螺钉可拆卸连接升降驱动装置的输出端。
优选的,所述的定位爪包括相互连接的定位爪块和定位爪体,定位爪块上开有副槽孔,定位爪块上方压接有压块,副螺钉穿过压块上的螺丝孔、定位爪块上的副槽孔并与螺孔连接。
本实用新型的优点:可方便调节整体定位机构的位置,或是微调各芯片对应定位结构的位置,键合时,定位机构升降稳定,各定位机构定位准确,可有效提高键合质量,各结构更换检修方便,适用性高,可有效满足各种生产需要。
附图说明
图1是本实用新型键合机四排式铜框架单列键合机构的结构示意图。
图中的1是铜框架料道、2是安装板、3是矩形口、4是主槽孔、5是主螺钉、6是螺孔、7是定位爪块、8是定位爪体、9是压块、10是副槽孔、11是副螺钉。
具体实施方式
下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1所示,键合机四排式铜框架单列键合机构,其结构包括位于在铜框架料道1中部上方的安装板2,安装板2前后两端延伸至铜框架料道1两侧面外侧并分别连接一升降驱动装置的输出端,安装板2中部开有矩形口3,矩形口3两侧均匀开有若干对螺孔6,四个定位爪分别通过连接螺孔6的一对副螺钉11安装在安装板2上。
安装板2前后两端分别开有主槽孔4,每个主槽孔4内设一主螺钉5,安装板2通过主螺钉5可拆卸连接升降驱动装置的输出端。需要对安装板整体更换时,拧开主螺钉5即可,安装时,可沿主槽孔4滑动,保证安装位置准确性。
定位爪包括相互连接的定位爪块7和定位爪体8,定位爪块7上开有副槽孔10,定位爪块7上方压接有压块9,副螺钉11穿过压块9上的螺丝孔、定位爪块7上的副槽孔10并与螺孔6连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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