[实用新型]一种芯片自动搬运加工装置有效

专利信息
申请号: 202122599246.3 申请日: 2021-10-27
公开(公告)号: CN216213327U 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 王怀成 申请(专利权)人: 上海钛龙电子科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 北京中索知识产权代理有限公司 11640 代理人: 霍春月
地址: 201500 上海市金*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 自动 搬运 加工 装置
【说明书】:

实用新型涉及芯片加工技术领域,尤其涉及一种芯片自动搬运加工装置,包括机架、竖板、加工架、支撑板和气泵;机架上设置传送组件A,传送组件A的两侧设置固定板;竖板滑动设置在固定板上,竖板内滑动设置滑块A,滑块A上转动设置夹板;加工架设置在机架上,机架上设置放料台,放料台位于加工架的下方;支撑板设置在机架上,支撑板上设置转轴,转轴的底部与机架转动连接;支撑板上滑动设置滑块B,支撑板上设置液压缸B,液压缸B的输出端与滑块B连接;滑块B上滑动设置连接板,连接板的下方设置吸嘴,气泵设置在连接板上,气泵的输入端与气嘴连通。本实用新型能够自动对反向的芯片进行翻转,并且夹持紧固性更高。

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域,尤其涉及一种芯片自动搬运加工装置。

背景技术

集成电路英语或称微电路、微芯片、晶片/芯片,在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。在芯片生产过程中需要对芯片原料进行多层加工,因此需要利用到芯片搬运装置。

现有的芯片搬运装置基本上是机械手结构或者简单的吸盘结构,在芯片搬运的过程中芯片容易脱落,或者倾斜,并且这两种结构对芯片的摆放朝向有严格的要求,一旦芯片正反面混乱,则会导致加工失败。

实用新型内容

为解决背景技术中存在的技术问题,本实用新型提出一种芯片自动搬运加工装置,在搬运的过程中不会出现芯片翻转倾斜的问题,并且在芯片朝向反向时自动对芯片进行翻转,同时本实用新型结构稳定性高。

本实用新型的技术方案:一种芯片自动搬运加工装置,包括机架、电机A、竖板、加工架、支撑板、电机C和气泵;

机架上设置传送组件A,传送组件A的两侧对称设置固定板,两侧固定板之间设置双向丝杆,双向丝杆的两端分别位于对应侧固定板的内部并与其转动连接,双向丝杆通过电机A驱动连接;竖板滑动设置在固定板上,竖板与双向丝杆螺纹连接,竖板内滑动设置滑块A,滑块A上转动设置夹板;其中一个滑块A上设置电机B,电机B的输出端与该滑块A上的夹板连接;竖板上设置液压缸A,液压缸A的输出端与滑块A连接;

加工架设置在机架上,机架上设置放料台,放料台位于加工架的下方;支撑板设置在机架上,支撑板位于固定板与加工架之间;支撑板上设置转轴,转轴的底部与机架转动连接,转轴上设置齿轮A;电机C设置在机架上,电机C的输出端设置齿轮B,齿轮B与齿轮A啮合;

支撑板上滑动设置滑块B,支撑板上设置液压缸B,液压缸B的输出端与滑块B连接;滑块B上滑动设置连接板,连接板上设置CCD相机;滑块B上设置液压缸C,液压缸C的输出端与连接板连接,连接板的下方设置吸嘴,气泵设置在连接板上,气泵的输入端与气嘴连通。

优选的,机架上设置放料箱,放料箱的出料口位于传送组件A的输入端上方,放料箱上设置进料口。

优选的,机架上对称设置两个导向板,两侧导向板关于传送组件A对称,导向板相互靠近的一侧设置导向槽,导向板的输出端设置凹槽。

优选的,夹板相互靠近的一侧设置上下两组楔形块,位于下方的楔形块与凹槽滑动配合。

优选的,支撑板上设置滑轨A,滑块B滑动设置在滑轨A上;滑块B上设置滑轨B,连接板滑动设置在滑轨B上。

优选的,加工架的内部滑动设置加工机头,加工机头位于放料台的上方。

优选的,机架的底部设置支撑脚,支撑脚的底部设置橡胶垫,支撑脚与机架的连接处设置减震组件。

与现有技术相比,本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果:

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