[实用新型]一种芯片自动搬运加工装置有效
申请号: | 202122599246.3 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN216213327U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 王怀成 | 申请(专利权)人: | 上海钛龙电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人: | 霍春月 |
地址: | 201500 上海市金*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 自动 搬运 加工 装置 | ||
1.一种芯片自动搬运加工装置,其特征在于,包括机架(1)、电机A、竖板(10)、加工架(15)、支撑板(17)、电机C(20)和气泵(29);
机架(1)上设置传送组件A(4),传送组件A(4)的两侧对称设置固定板(7),两侧固定板(7)之间设置双向丝杆(8),双向丝杆(8)的两端分别位于对应侧固定板(7)的内部并与其转动连接,双向丝杆(8)通过电机A(9)驱动连接;竖板(10)滑动设置在固定板(7)上,竖板(10)与双向丝杆(8)螺纹连接,竖板(10)内滑动设置滑块A(11),滑块A(11)上转动设置夹板(13);其中一个滑块A(11)上设置电机B(12),电机B(12)的输出端与该滑块A(11)上的夹板(13)连接;竖板(10)上设置液压缸A(14),液压缸A(14)的输出端与滑块A(11)连接;
加工架(15)设置在机架(1)上,机架(1)上设置放料台(16),放料台(16)位于加工架(15)的下方;支撑板(17)设置在机架(1)上,支撑板(17)位于固定板(7)与加工架(15)之间;支撑板(17)上设置转轴(18),转轴(18)的底部与机架(1)转动连接,转轴(18)上设置齿轮A(19);电机C(20)设置在机架(1)上,电机C(20)的输出端设置齿轮B(21),齿轮B(21)与齿轮A(19)啮合;
支撑板(17)上滑动设置滑块B(23),支撑板(17)上设置液压缸B(24),液压缸B(24)的输出端与滑块B(23)连接;滑块B(23)上滑动设置连接板(26),连接板(26)上设置CCD相机;滑块B(23)上设置液压缸C(27),液压缸C(27)的输出端与连接板(26)连接,连接板(26)的下方设置吸嘴(28),气泵(29)设置在连接板(26)上,气泵(29)的输入端与气嘴连通。
2.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置,其特征在于,机架(1)上设置放料箱(2),放料箱(2)的出料口位于传送组件A(4)的输入端上方,放料箱(2)上设置进料口。
3.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置,其特征在于,机架(1)上对称设置两个导向板(3),两侧导向板(3)关于传送组件A(4)对称,导向板(3)相互靠近的一侧设置导向槽(5),导向板(3)的输出端设置凹槽(6)。
4.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置,其特征在于,夹板(13)相互靠近的一侧设置上下两组楔形块,位于下方的楔形块与凹槽(6)滑动配合。
5.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置,其特征在于,支撑板(17)上设置滑轨A(22),滑块B(23)滑动设置在滑轨A(22)上;滑块B(23)上设置滑轨B(25),连接板(26)滑动设置在滑轨B(25)上。
6.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置,其特征在于,加工架(15)的内部滑动设置加工机头,加工机头位于放料台(16)的上方。
7.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置,其特征在于,机架(1)的底部设置支撑脚,支撑脚的底部设置橡胶垫,支撑脚与机架(1)的连接处设置减震组件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造