[实用新型]一种晶圆分切工装

权利要求书

1.一种晶圆分切工装，其特征在于，包括下撑构件（1），下撑构件（1）的两侧均设有分切机构（2），分切机构（2）上端设有上夹机构（3），下撑构件（1）与上夹机构（3）相互配合用于晶圆棒的夹持，分切机构（2）用于晶圆棒的分切操作；

下撑构件（1）包括一对相互平行的支撑底板（10），支撑底板（10）的上壁设有凹形支架（11），凹形支架（11）的上端安装有支撑台（12），支撑台（12）的上端成形有下衬弧槽（120），支撑台（12）沿其长度方向呈等间隔阵列地成形有分切下槽（121），分切下槽（121）向下延伸于凹形支架（11）。

2.根据权利要求1所述的晶圆分切工装，其特征在于，分切机构（2）包括一对分布于凹形支架（11）两侧的折形固定板（20），折形固定板（20）外壁的两端均安装有上延侧板（21），上延侧板（21）沿着竖直方向成形有调节孔，每个上延侧板（21）的外壁上下两端均安装有一对调节轴承座（23），每对调节轴承座（23）之间均设有多根调节导杆（24），位于上端的调节轴承座（23）均安装有调节电机（25），调节电机（25）的输出轴均连接有调节丝杆（26），调节丝杆（26）均设有调节座（27），调节座（27）的内侧端均穿于调节孔，调节座（27）的内侧端均设有调节内板（28），调节内板（28）均设有分切座（29），位于同侧的一对分切座（29）之间均设有分切杆（290），分切杆（290）沿其轴向呈等间隔阵列地设有分切带（291），其中一根分切杆（290）的一端连接有分切电机（292），分切带（291）分别位于分切下槽（121）内。

3.根据权利要求2所述的晶圆分切工装，其特征在于，分切带（291）外壁附着有多个金刚石。

4.根据权利要求2所述的晶圆分切工装，其特征在于，分切杆（290）沿其轴向呈等间隔阵列地成形有U形环槽，分切带（291）均设于U形环槽内。

5.根据权利要求2所述的晶圆分切工装，其特征在于，上夹机构（3）包括安装于每对上延侧板（21）之间的连接凹形件（22），每对连接凹形件（22）之间均安装有工形背板（30），工形背板（30）的外壁安装有夹持导套（31），夹持导套（31）的外壁均安装有一对夹持轴承座（32），每对夹持轴承座（32）之间均设有夹持齿轮（33），夹持齿轮（33）的一端均连接有夹持电机（34），夹持齿轮（33）均啮合有夹持齿条（35），夹持齿条（35）均穿于夹持导套（31），夹持齿条（35）的上端设有上夹板（36），上夹板（36）下壁安装有上夹座（37），上夹座（37）的下壁成形有上夹弧槽，上夹座（37）沿其长度方向呈等间隔阵列地成形有分切上槽（370），分切上槽（370）与分切下槽（121）一一对应，且分切上槽（370）位于与其对应的分切下槽（121）的正上方。