[实用新型]一种适用于不同尺寸材料进行EBSD测试的样品台

说明书

本实用新型公开了一种适用于不同尺寸材料进行EBSD测试的样品台，其特征在于，包括样品台，样品台由相互垂直的两块基座构成一个整体结构，其中一个基座的上部为长方体，另一个基座为直角梯形体，该直角梯形体的两个直角间的腰水平设置且延伸至左侧基座的底部，由此两个基座构成一个整体；直角梯形体锐角侧的腰与长方体右侧的侧边相互垂直且该空间为检测样品放置区；在长方体上装有等平面推杆，在直角梯形体上装有等高推杆；所述等平面推杆和等高推杆在检测样品放置区内的部分相互垂直，等平面推杆和等高推杆相互垂直部位用于放置待测样品。本申请所设计的样品台可以对不同类型的样品进行固定，可以解决同批次、多个不同尺寸、不同形状样品的同时测试难题。

技术领域

本实用新型属于材料科学与工程领域，尤其是一种适用于不同尺寸材料进行EBSD测试的样品台。

背景技术

扫描电子显微镜是使用最为广泛的材料表征设备之一，其搭载的电子背散射衍射(EBSD)技术是材料科学的重要表征手段，采用EBSD技术可获得材料的晶体学取向、织构、界面结构等众多信息，极大的帮助科研人员深入理解材料成分、加工工艺、组织结构和性能的本质关系，推动了材料的科技创新，现已广泛应用于材料研究的各个领域。进行 EBSD测试时，为了得到较强的信号，要求检测面相对入射电子束呈70°倾斜。目前实现这一目的传统做法是做一个有70°斜面的样品台，将样品粘贴于样品台斜面上，再将样品台固定于电镜底座上。但是在实际使用时，存在角度定位差、黏贴剂不牢固导致的图像漂移明显以及大尺寸样品较难粘贴牢固甚至无法粘贴固定等问题，而且采用黏贴剂的方式效率较为费时，效率较低。此外，常见的EBSD样品台多为一个台子对应一个样品，然而随着科技的进步，近些年的扫描电子显微镜多为大舱室电镜，一台子一样品的设计方式无法充分利用电镜空间，来回换样花费较多时间，效率低下。值得一提的是，现发表的很多专利多是解决某一尺寸或形状样品的测试问题，而测试时，同一样品台上的样品，为防止电子枪极靴碰撞和EBSD探头碰撞，要求样品高度一致、测试面在同一平面内，当一批次样品尺寸、形状不一时，现有样品台无法保证设备安全的同时兼顾同批次不同尺寸、不同形状样品的测试问题，亦或是样品台可装载的样品过少，测试效率低。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的不足，本申请提出了一种适用于不同尺寸材料进行EBSD 测试的样品台，可以对不同类型的样品进行固定，可以解决同批次、多个不同尺寸、不同形状样品的同时测试难题。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种适用于不同尺寸材料进行EBSD测试的样品台，包括样品台，所述样品台由相互垂直的两块基座构成一个整体结构，其中一个基座的上部为长方体，另一个基座为直角梯形体，该直角梯形体的两个直角间的腰水平设置且延伸至左侧基座的底部，由此两个基座构成一个整体；直角梯形体锐角侧的腰与长方体右侧的侧边相互垂直且该空间为检测样品放置区；在长方体上装有等平面推杆，在直角梯形体上装有等高推杆；所述等平面推杆和等高推杆在检测样品放置区内的部分相互垂直，等平面推杆和等高推杆相互垂直部位用于放置待测样品。

进一步，在该长方体上开设多个等平面推杆安装孔，每个等平面推杆安装孔均平行于长方体的上表面，且每个等平面推杆安装孔位于同一水平线上；在长方体的上表面上对应每个等平面推杆安装孔设置锁紧孔，锁紧孔与等平面推杆安装孔相交；锁紧孔内攻有螺纹。

进一步，垂直于直角梯形体的锐角侧的腰开设多个等高推杆安装孔；该等高推杆安装孔与等平面推杆安装孔一一对应；在直角梯形体直角侧的腰上对应每个等高推杆安装孔设置锁紧孔，锁紧孔与等高推杆安装孔相交；锁紧孔内攻有螺纹。

进一步，锁紧孔与锁紧件配合，分别对插入等平面推杆安装孔内的等平面推杆、插入等高推杆安装孔内的等高推杆进行锁紧；

进一步，通过改变等平面推杆和等高推杆的分别对应在等平面推杆安装孔和等高推杆安装孔中的长度，改变在等平面推杆和等高推杆在检测样品放置区内的部分长度，进而使得等平面推杆和等高推杆相互垂直部位适应不同待测样品的尺寸。