[实用新型]一种掩模半自动拆模平台装置有效

专利信息
申请号: 202122471702.6 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN216485977U 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 尤春;刘维维;韦庆宇;顾梦星 申请(专利权)人: 无锡中微掩模电子有限公司
主分类号: G03F1/82 分类号: G03F1/82;G03F1/62
代理公司: 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 代理人: 邓琪
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半自动 平台 装置
【权利要求书】:

1.一种掩模半自动拆模平台装置,其特征在于,包括底座,所述底座内放置有上料托盘,所述上料托盘内放置带有保护膜的掩模版,上料托盘上方设有两个支架,其中一个支架的两侧均设有拆膜棒,所述拆膜棒的两端均设有可调节的顶针。

2.根据权利要求1所述的掩模半自动拆模平台装置,其特征在于,所述掩模版上保护膜的两侧均设有与顶针配合的孔。

3.根据权利要求1所述的掩模半自动拆模平台装置,其特征在于,所述底座与另一个支架固定连接,两个所述支架呈交叉式连接且均被紧固件贯通,通过转动所述支架上方的紧固件可带动与拆膜棒接触的掩模版上保护膜转动。

4.根据权利要求1所述的掩模半自动拆模平台装置,其特征在于,所述底座的四周设有若干便于固定上料托盘的弹簧卡扣。

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