[实用新型]一种扩散泵活动固定装置

说明书

本实用新型公开了一种扩散泵活动固定装置，其包括：固定底座、滑动底架和扩散泵体，固定底座设置有呈横向延伸设置的滑道结构；滑动底架可滑动地安装于滑道结构，在滑道结构的滑移端部设置有用于对滑动底架进行定位的限位结构；扩散泵体安装于滑动底架上。限位结构可对扩散泵体滑移进行定位，并在滑移方向上限定出工作位和维护位，当需要对扩散泵体进行维护时，可将扩散泵体从工作位沿滑道结构移动至维护位，维护好了，将扩散泵体从维护位沿滑道结构移动至工作位，再对扩散泵体进行固定安装，操作方便，这样大大降低工人的劳动强度，降低了安全风险。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，特别涉及一种扩散泵活动固定装置。

背景技术

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。在使用时，需要经常对泵体进行加油或者进行维护，现有技术一般都通过吊装设备来辅助，操作不便，并且存在坠落而损坏设备的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种扩散泵活动固定装置，以解决现有技术中所存在的一个或多个技术问题，至少提供一种有益的选择或创造条件。

为解决上述技术问题所采用的技术方案：

本实用新型提供一种扩散泵活动固定装置，其包括：固定底座、滑动底架和扩散泵体，固定底座设置有呈横向延伸设置的滑道结构；滑动底架可滑动地安装于所述滑道结构，在所述滑道结构的滑移端部设置有用于对滑动底架进行定位的限位结构；扩散泵体安装于所述滑动底架上。

本实用新型的有益效果是：在使用时，扩散泵体安装于滑动底架上，而滑动底架可滑动地安装于固定底座上的所述滑道结构，滑道结构的滑移端部设置用于对滑动底架进行定位的限位结构，限位结构可对扩散泵体滑移进行定位，并在滑移方向上限定出工作位和维护位，当需要对扩散泵体进行维护时，可将扩散泵体从工作位沿滑道结构移动至维护位，维护好了，将扩散泵体从维护位沿滑道结构移动至工作位，再对扩散泵体进行固定安装，操作方便，这样大大降低工人的劳动强度，降低了安全风险。

作为上述技术方案的进一步改进，所述扩散泵体的底部设置有可自由上下伸缩并固定的支撑升降结构，所述扩散泵体通过支撑升降结构安装于滑动底架上。

由于扩散泵体在安装于真空镀膜机系统上时，需要与对应的接口进行对接固定，本方案通过支撑升降结构来实现扩散泵体在工作位的升降，当扩散泵体移动至工作位时，支撑升降结构将扩散泵体往上升起，使得扩散泵体的对接口与真空镀膜机系统上的接口对接，进行固定安装，当扩散泵体进行维护时，支撑升降结构将扩散泵体往下降，使得扩散泵体从真空镀膜机系统脱出，之后再将扩散泵体拉至维护位，这样可便于扩散泵体的拆装，满足与现有的真空镀膜机系统的匹配组装。

作为上述技术方案的进一步改进，所述支撑升降结构包括多个呈上下延伸设置的伸缩支脚，所述伸缩支脚的上下两端分为固定端和伸缩端，所述固定端固定于扩散泵体的底部，所述伸缩端与滑动底架抵触。

本方案通过多个伸缩支脚来实现扩散泵体的升降，其中伸缩支脚为常规的电动推杆、液压杆等可自由伸缩并固定的伸缩杆件。

作为上述技术方案的进一步改进，在所述滑动底架的顶部设置有限位安装槽，所述伸缩端伸入所述限位安装槽并与所述限位安装槽的槽底抵触。

为了便于滑动底架与伸缩支脚的固定，以及方便扩散泵体的拆装，本方案的滑动底架通过限位安装槽来与伸缩支脚底部的伸缩端进行限位抵触，避免扩散泵体在滑移的过程中从滑动底架溜出，并且在维护时，吊装设备可快速地将扩散泵体从滑动底架吊出，方便扩散泵体的更换。

作为上述技术方案的进一步改进，所述伸缩端连接有呈球面状的脚杯，所述伸缩端通过脚杯与所述限位安装槽抵触。其中呈球面状的脚杯可使得伸缩端可快速地伸入限位安装槽内。