[实用新型]一种扩散泵活动固定装置有效
| 申请号： | 202122446829.2 | 申请日： | 2021-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN216556006U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 武文全 | 申请（专利权）人： | 佛山市佛欣真空技术有限公司 |
| 主分类号： | F16M7/00 | 分类号： | F16M7/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 林华龙 |
| 地址： | 528226 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 活动 固定 装置 | ||
1.一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：其包括：
固定底座(100)，其设置有呈横向延伸设置的滑道结构；
滑动底架(200)，其可滑动地安装于所述滑道结构，在所述滑道结构的滑移端部设置有用于对滑动底架(200)进行定位的限位结构；
扩散泵体(300)，其安装于所述滑动底架(200)上。
2.根据权利要求1所述的一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：
所述扩散泵体(300)的底部设置有可自由上下伸缩并固定的支撑升降结构，所述扩散泵体(300)通过支撑升降结构安装于滑动底架(200)上。
3.根据权利要求2所述的一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：
所述支撑升降结构包括多个呈上下延伸设置的伸缩支脚(400)，所述伸缩支脚(400)的上下两端分为固定端和伸缩端，所述固定端固定于扩散泵体(300)的底部，所述伸缩端与滑动底架(200)抵触。
4.根据权利要求3所述的一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：
在所述滑动底架(200)的顶部设置有限位安装槽(210)，所述伸缩端伸入所述限位安装槽(210)并与所述限位安装槽(210)的槽底抵触。
5.根据权利要求4所述的一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：
所述伸缩端连接有呈球面状的脚杯(410)，所述伸缩端通过脚杯(410)与所述限位安装槽(210)抵触。
6.根据权利要求3所述的一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：
所述伸缩支脚(400)的数量为三个，在俯视投影面上三个伸缩支脚(400)呈三角形分布，以及所述滑动底架(200)呈三角形状，三个伸缩支脚(400)分别与滑动底架(200)的三个角抵触。
7.根据权利要求1所述的一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：
所述滑道结构包括并排设置的至少两个导轨(110)，所述滑动底架(200)的底部设置有滑轮机构，所述滑动底架(200)通过滑轮机构与至少两个导轨(110)滑动连接。
8.根据权利要求7所述的一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：
所述滑轮机构包括三个滑轮组件(220)，在俯视投影面上三个滑轮组件(220)呈三角形分布，其中一个所述滑轮组件(220)与其中一个导轨(110)滑动配合，另外两个所述滑轮组件(220)与另外一个导轨(110)滑动配合。
9.根据权利要求7所述的一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：
所述限位结构包括沿所述导轨(110)延伸方向呈间隔设置的至少两个限位块(120)。
10.根据权利要求1所述的一种扩散泵活动固定装置，其特征在于：
所述固定底座(100)的底部连接有若干地脚螺丝(130)。
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