[实用新型]一种蒸镀装置有效

专利信息
申请号: 202122408183.9 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN215947395U 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 何军舫;王军勇 申请(专利权)人: 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 郑久兴
地址: 101101 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 装置
【说明书】:

本申请提供了一种蒸镀装置,蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳;加热电极用于为加热腔提供电源;电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本申请实施例中,加热电极设置于加热腔的加热底壳上,设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉,实现从蒸镀装置的上部开口处安装及取出,有利于加热器的维护以及更换。

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域,特别涉及一种蒸镀装置。

背景技术

蒸镀装置包括加热器和与加热器连接的加热电极,加热器用于加热蒸镀物,加热电极用于为加热器提供热源。

但是,蒸镀装置在使用过程中,由于加热电极设于加热器侧壁的原因,导致加热器的拆卸非常的不方便,且易损坏加热器。

因此,如何改善蒸镀装置的上述问题,成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

(一)申请目的

本申请的目的是提供一种蒸镀装置,能够解决蒸镀装置拆卸不便的问题。

(二)技术方案

为解决上述问题,根据本申请的一个方面,本申请提供了一种蒸镀装置,蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔,所述加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳;

加热电极,所述加热电极用于为加热腔提供电源;

电极连接结构,用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。

本申请实施例中,加热电极设置于加热腔的加热底壳上,设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉,实现从蒸镀装置的上部开口处安装及取出,有利于加热器的维护以及更换。

进一步地,沿垂直于所述加热底壳的方向上,所述加热电极和所述电极连接结构形成的投影位于所述加热底壳的投影内。

进一步地,所述加热筒与所述加热底壳的连接部位形成为圆弧过渡。

进一步地,所述加热底壳呈环形;

所述加热电极的数量为多个,多个所述加热电极阵列布置于所述加热底壳。

进一步地,所述电极连接结构与所述加热筒和所述加热底壳的连接部位间距布置。

进一步地,所述电极连接结构包括:

电极连接柱,与所述加热腔连接,所述电极连接柱上形成有调整孔;其中,所述加热电极的一端形成为伸入所述调整孔内;

调整件,用于与所述调整孔适配连接,所述调整件用于将所述加热电极固定于所述调整孔内。

进一步地,所述电极连接柱包括柱体,所述柱体上形成有螺纹;

其中,所述柱体配置为贯穿所述加热底壳伸入加热腔内,并利用至少一个螺纹连接件与所述柱体螺纹连接,将所述电极连接柱固定于所述加热腔。

优选地,还包括:

垫片,设置于所述电极连接结构和所述加热腔之间。

进一步地,所述垫片的材质为难熔金属。

优选地,还包括:

电极绝缘杆套,套设于所述加热电极外周。

(三)有益效果

本申请的上述技术方案具有如下有益的技术效果:

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