[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 202122408183.9 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN215947395U | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 何军舫;王军勇 | 申请（专利权）人： | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郑久兴 |
| 地址： | 101101 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
加热腔(20)，所述加热腔(20)包括加热筒(21)和设于所述加热筒(21)底部的加热底壳(22)；
加热电极(160)，所述加热电极(160)用于为加热腔(20)提供电源；
电极连接结构(140)，用于将所述加热腔(20)和所述加热底壳(22)连接。
2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
沿垂直于所述加热底壳(22)的方向上，所述加热电极(160)和所述电极连接结构(140)形成的投影位于所述加热底壳(22)的投影内。
3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述加热筒(21)与所述加热底壳(22)的连接部位形成为圆弧过渡。
4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述加热底壳(22)呈环形；
所述加热电极(160)的数量为多个，多个所述加热电极(160)阵列布置于所述加热底壳(22)。
5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述电极连接结构(140)与所述加热筒(21)和所述加热底壳(22)的连接部位间距布置。
6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电极连接结构(140)包括：
电极连接柱(141)，与所述加热腔(20)连接，所述电极连接柱(141)上形成有调整孔(1411)；其中，所述加热电极(160)的一端形成为伸入所述调整孔(1411)内；
调整件(142)，用于与所述调整孔(1411)适配连接，所述调整件(142)用于将所述加热电极(160)固定于所述调整孔(1411)内。
7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述电极连接柱(141)包括柱体(1412)，所述柱体(1412)上形成有螺纹；
其中，所述柱体(1412)配置为贯穿所述加热底壳(22)伸入加热腔(20)内，并利用至少一个螺纹连接件与所述柱体(1412)螺纹连接，将所述电极连接柱(141)固定于所述加热腔(20)。
8.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：
垫片(150)，设置于所述电极连接结构(140)和所述加热腔(20)之间。
9.如权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述垫片(150)的材质为难熔金属。
10.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：
电极绝缘杆套(90)，套设于所述加热电极(160)外周。
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