[实用新型]用于扩散泵的电磁加热器以及扩散泵

说明书

本实用新型公开了用于扩散泵的电磁加热器以及扩散泵，扩散泵的料筒设有金属管和包覆在金属管外部的保温层，金属管内部中空形成料筒的料腔，电磁加热器包括：电磁感应线圈和控制器，电磁感应线圈缠绕在保温层外部，控制器连接电磁感应线圈；电磁感应线圈包括：导电线体、包覆在导电线体外表面的第一绝缘层、包覆在绝缘层外表面的玻璃纤维层、包覆在玻璃纤维层外表面的第二绝缘层。本实用新型具有加热速度快、热效率高且使用安全等优点。

技术领域

本实用新型涉及电磁加热器技术领域，尤其涉及用于扩散泵的电磁加热器以及扩散泵。

背景技术

扩散泵是常见的工业加工设备，由于在使用时需要进行加热，因此扩散泵的加热器件选择尤为重要。传统技术中扩散泵采用加热棒进行加热，通过检测扩散泵的料筒温度控制加热棒的工作状态，料筒中的温度达到设定值后，加热棒停止加热，但加热棒内部的热量远高于料筒中的沸腾温度，造成大量的热量浪费。

现有技术中已出现采用电磁感应线圈给扩散泵进行加热的技术方案，通常是将电磁加热线圈设置在扩散泵的料筒底部，利用电磁加热线圈产生交变磁场，料筒的铁质锅底切割交变磁力线而在料筒底部金属部分产生涡流，涡流使料筒底部的铁原子无规则运动，分子相互碰撞、摩擦而产生热能，利用该热能给料筒进行加热。这种电磁加热的方式虽然能降低扩散泵的加热能耗，但从底部加热导致热量需要由底部逐渐向上传递，热传导路径长，加热速度比较慢，影响生产效率。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的缺陷，本实用新型提出用于扩散泵的电磁加热器以及扩散泵，其具有加热速度快、热效率高且使用安全等优点。

本实用新型采用的技术方案是，设计用于扩散泵的电磁加热器，扩散泵的料筒设有金属管和包覆在金属管外部的保温层，金属管内部中空形成料筒的料腔，电磁加热器包括：电磁感应线圈和控制器，电磁感应线圈缠绕在保温层外部，控制器连接电磁感应线圈；电磁感应线圈包括：导电线体、包覆在导电线体外表面的第一绝缘层、包覆在绝缘层外表面的玻璃纤维层、包覆在玻璃纤维层外表面的第二绝缘层。

进一步的，控制器采用变频驱动器，通过变频驱动器将电能转换为频率可调节的交流电信号。

进一步的，控制器包括：壳体、主控模块以及给主控模块散热的风机，风机与控制器同步开启，控制器停止运行之后，风机延时关闭。

进一步的，壳体的一侧设有散热缺口，散热缺口覆盖有过滤网，过滤网外侧间隔排布有散热翅片，散热翅片的两端连接在壳体上。

进一步的，壳体采用铝材料制作。

进一步的，主控模块包括：主板、与主板连接的IGBT模块、整流模块以及滤波模块。

进一步的，电磁加热器还包括：检测料腔温度的温度传感器，温度传感器连接并控制控制器。

本实用新型还提出了扩散泵，包括：料筒、设于料筒一侧的扩散器、以及电磁加热器，料筒设有金属管和包覆在金属管外部的保温层；电磁加热器采用上述的电磁加热器。

进一步的，料筒底部设有可调节高度的支脚。

与现有技术相比，本实用新型的电磁感应线圈缠绕在料筒上，通过电磁感应线圈使料筒内部的金属管自身发热，料筒发热面积大、加热速度快，加热时间大幅缩短。电磁感应线圈设置有绝缘层以及玻璃纤维层，耐高温且能保障使用安全。

附图说明

下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中：

图1是本实用新型中扩散泵的侧面示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。