[实用新型]用于扩散泵的电磁加热器以及扩散泵

权利要求书

1.用于扩散泵的电磁加热器，所述扩散泵的料筒设有金属管和包覆在所述金属管外部的保温层，所述金属管内部中空形成所述料筒的料腔；其特征在于，所述电磁加热器包括：电磁感应线圈和控制器，所述电磁感应线圈缠绕在所述保温层外部，所述控制器连接所述电磁感应线圈；所述电磁感应线圈包括：导电线体、包覆在所述导电线体外表面的第一绝缘层、包覆在所述绝缘层外表面的玻璃纤维层、包覆在所述玻璃纤维层外表面的第二绝缘层。

2.根据权利要求1所述的电磁加热器，其特征在于，所述控制器采用变频驱动器，通过所述变频驱动器将电能转换为频率可调节的交流电信号。

3.根据权利要求1所述的电磁加热器，其特征在于，所述控制器包括：壳体、主控模块以及给所述主控模块散热的风机；所述风机与所述控制器同步开启，所述控制器停止运行之后，所述风机延时关闭。

4.根据权利要求3所述的电磁加热器，其特征在于，所述壳体的一侧设有散热缺口，所述散热缺口覆盖有过滤网，所述过滤网外侧间隔排布有散热翅片，所述散热翅片的两端连接在所述壳体上。

5.根据权利要求4所述的电磁加热器，其特征在于，所述壳体采用铝材料制作。

6.根据权利要求3所述的电磁加热器，其特征在于，所述主控模块包括：主板、与所述主板连接的IGBT模块、整流模块以及滤波模块。

7.根据权利要求1所述的电磁加热器，其特征在于，所述电磁加热器还包括：检测所述料腔温度的温度传感器，所述温度传感器连接并控制所述控制器。

8.扩散泵，包括：料筒、设于所述料筒一侧的扩散器、以及电磁加热器，所述料筒设有金属管和包覆在所述金属管外部的保温层；其特征在于，所述电磁加热器采用权利要求1至7任一项所述的电磁加热器。

9.根据权利要求8所述的扩散泵，其特征在于，所述料筒底部设有可调节高度的支脚。