[实用新型]一种改善plasma效果的治工具有效
| 申请号： | 202122343331.3 | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN216174931U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 庄晓鹏 | 申请（专利权）人： | 蓝芯存储技术（赣州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341000 江西省赣州市赣州经济技术开*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 plasma 效果 工具 | ||
【权利要求书】：
1.一种改善plasma效果的治工具，其特征在于：包括治具主体、产品槽、侧盖板、固定槽、端盖槽和端盖；所述产品槽设于治具主体表面，所述侧盖板上设有通孔，所述固定槽设于治具主体侧边，端盖槽设于治具主体两端，所述侧盖板上设有固定耳。
2.如权利要求1所述的改善plasma效果的治工具，其特征在于：所述产品槽共有两组，两组产品槽并排设于治具主体表面。
3.如权利要求1所述的改善plasma效果的治工具，其特征在于：所述侧盖板共有两块，两块侧盖板分别与治具主体两端活动连接。
4.如权利要求1所述的改善plasma效果的治工具，其特征在于：所述端盖通过固定耳与固定槽配合连接治具主体。
5.如权利要求1所述的改善plasma效果的治工具，其特征在于：所述侧盖板上的通孔为4*6排列。
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