[实用新型]一种石英舟清洗装置

说明书

本申请提供一种石英舟清洗装置，包括依次设置的酸洗机构、第一水洗机构、第二水洗机构以及烘干机构，酸洗机构包括酸洗槽，酸洗槽包括底壁和侧壁，侧壁的下端和底壁之间连接有倾斜面，倾斜面的下端朝槽内倾斜，底壁设置有可关闭和开启的排液孔。更换酸液时，开启酸洗槽底部的排液孔，而下端朝酸洗槽内倾斜的倾斜面，使得酸洗槽底部的清洁死角减少，杂质与废酸堆积的概率降低，大部分杂质及废酸得以顺利排出酸洗槽，保证更换后的酸液的清洁度及纯度，进而改善对石英舟的清洗效果。

技术领域

本申请涉及光伏太阳能技术领域，具体而言，涉及一种石英舟清洗装置。

背景技术

在单晶硅PERC太阳能电池生产中，需要用到扩散、热氧等制作环节。其中扩散工序是形成PN结的工序，具体过程是：采用三氯氧磷液态源在高温下与氧气反应生成的磷原子向硅片内部进行扩散，改变硅片表面层的导电类型，从而形成PN结，其化学反应式为5POC1₃→3PC1₅+P₂0₅。

由于石英玻璃的SiO₂含量在99.999％，其可见光透光度好，并且透紫外线、红外线，具有优异的光学性能，同时具有良好的耐酸耐高温特性，化学性能以及电学性能优异等特点，扩散等工序一般会选用石英舟作为硅片的载具。

在扩散工艺中长期使用的石英舟会被偏磷酸、粉尘、碎屑等污染，偏磷酸累积一定量后会腐蚀位于石英舟上的硅片，从而形成卡槽印。严重的情况下会导致硅片方阻异常或者外观异常，影响硅片的良品率以及转换效率。所以需要对石英舟进行定期或不定期的清洗，对石英舟的清洗一般会先将石英舟置于酸洗机构中使用酸性溶剂对其表面沉积的P₂0₅等进行去除，再将经过酸处理后的石英舟置于水洗机构中使用清水对其进行清洗，去除表面的酸性物质及杂质，最后将清洗好的石英舟进行烘干，以便进行重复使用。

但实际生产中，石英舟的清洗效果很难保证，往往需要对其进行反复、多次的清洗，严重影响清洗效率。

实用新型内容

在石英舟的清洗过程中，随着其表面沉积的物质与酸性溶剂不断发生反应，酸性溶剂的浓度降低，且在此过程中石英舟上的碎屑等杂质会进入酸性溶剂中，需要对使用一段时间后的酸性溶剂进行更换。在更换酸性溶剂时，废弃的酸液及杂质会堆积在酸洗机构的底部角落中，当往酸洗机构中加入新的酸性溶剂后，废弃的酸液及杂质会与新的酸性溶剂混合，影响更换后酸液的浓度及清洁度。

堆积在酸洗机构底部角落以及水洗机构底部角落的废液及杂质会影响对石英舟的清洗效果。

发明人发现，一般的酸洗机构和水洗机构会采用方体槽或圆柱形槽结构，这种结构的底部拐角容易堆积杂质，在排液时形成死角。而由于酸洗是石英舟进行的第一道清洗工序，大部分的杂质及废液极易留在酸洗机构。

基于此，本申请的目的在于提供一种石英舟清洗装置，其能改善对石墨舟的清洗效果。

为实现上述目的，本申请采用以下技术手段：

本申请提供一种石英舟清洗装置，包括依次设置的酸洗机构、第一水洗机构、第二水洗机构以及烘干机构，酸洗机构包括酸洗槽，酸洗槽包括底壁和侧壁，侧壁的下端和底壁之间连接有倾斜面，倾斜面的下端朝槽内倾斜，底壁设置有可关闭和开启的排液孔。

在对石英舟进行清洗时，先将其置于放置有酸液的酸洗槽中，并使酸液浸没石英舟，使沉积于石英舟表面的物质与酸液发生反应，待石英舟表面沉积的物质与酸液反应完全后，将石英舟取出，置于第一水洗机构中，进行第一水洗，将石英舟表面残留的酸液及残留的杂质进行初步清洗去除，再将经第一水洗后的石英舟由第一水洗机构送入第二水洗机构，进行第二水洗，以进一步对石英舟上的酸液及杂质进行去除，最后将水洗完成后的石英舟送入烘干机构中进行干燥，以便石英舟的重复使用。