[实用新型]一种石英舟清洗装置

权利要求书

1.一种石英舟清洗装置，其特征在于，包括依次设置的酸洗机构、第一水洗机构、第二水洗机构以及烘干机构，所述酸洗机构包括酸洗槽，所述酸洗槽包括底壁和侧壁，所述侧壁的下端和所述底壁之间连接有倾斜面，所述倾斜面的下端朝槽内倾斜，所述底壁设置有可关闭和开启的排液孔。

2.根据权利要求1所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述酸洗槽为方形体，所述倾斜面沿所述酸洗槽轴向方向的截面为弧形。

3.根据权利要求2所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述弧形的弧度为π/4-π/3。

4.根据权利要求1所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述第一水洗机构包括第一水洗槽，所述第二水洗机构包括第二水洗槽，所述第一水洗槽与所述第二水洗槽的侧壁与底壁之间均连接有下端朝槽内倾斜的倾斜面。

5.根据权利要求4所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述石英舟清洗装置还包括多个鼓泡器，所述酸洗槽的所述倾斜面、所述第一水洗槽的所述倾斜面以及所述第二水洗槽的所述倾斜面均设置有所述鼓泡器。

6.根据权利要求4所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述酸洗槽、所述第一水洗槽与所述第二水洗槽的长均为150cm-250cm，宽均为30cm-40cm。

7.根据权利要求4所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述酸洗槽的个数为2-3个，所述第一水洗槽的个数为2-3个，所述第二水洗槽的个数为4-6个，各槽体之间均彼此独立。

8.根据权利要求7所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述石英舟清洗装置还包括用于对经过所述第一水洗槽清洗后的石英舟进行吹扫的热风吹扫件，所述热风吹扫件设置于靠近所述第二水洗槽的所述第一水洗槽中。

9.根据权利要求4-8任一项所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述石英舟清洗装置还包括传送机构和用于抓取石英舟的机械手爪，所述机械手爪设置于所述传送机构以使所述机械手爪在所述酸洗机构至所述烘干机构之间往复运动；所述酸洗槽、所述第一水洗槽和所述第二水洗槽均开口向上，所述机械手爪上升或下降以用于从所述开口取出或放入所述石英舟。

10.根据权利要求9所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述机械手爪设置至少两层，可一次性抓取至少两个所述石英舟。