[实用新型]一种LED晶圆环的夹紧及旋转装置有效

专利信息
申请号: 202122252952.0 申请日: 2021-09-17
公开(公告)号: CN216084848U 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 李京京;彭博 申请(专利权)人: 长园半导体设备(珠海)有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/677
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 王贤义
地址: 519000 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 led 圆环 夹紧 旋转 装置
【权利要求书】:

1.一种LED晶圆环的夹紧及旋转装置,其特征在于:它包括底板(1)、载板(2)、夹紧机构(3)和旋转机构(4),所述旋转机构(4)设于所述底板(1)并与所述载板(2)传动连接,所述夹紧机构(3)包括设于所述载板(2)上的夹爪组件(31)和设于所述底板(1)上的驱动气缸(32),所述驱动气缸(32)配合设于所述夹爪组件(31)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种LED晶圆环的夹紧及旋转装置,其特征在于:所述底板(1)上设有与所述载板(2)相配合的产品传感器(11)。

3.根据权利要求1所述的一种LED晶圆环的夹紧及旋转装置,其特征在于:所述底板(1)上设有若干个均与所述旋转机构(4)相配合的张力调节组件(12),所述张力调节组件(12)包括基座(121)、底座(122)、轴承(123)、旋转轴(124)和调节螺丝(125),所述基座(121)滑动配合在所述底板(1)上,所述底座(122)设于所述底板(1)上,所述轴承(123)通过所述旋转轴(124)转动配合在所述基座(121)上,所述轴承(123)与所述旋转机构(4)相配合,所述调节螺丝(125)转动配合在所述底座(122)上,并且所述调节螺丝(125)的一端与所述基座(121)相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种LED晶圆环的夹紧及旋转装置,其特征在于:所述夹爪组件(31)包括安装块(311)、两个弹簧(312)和两个夹爪(313),所述安装块(311)设于所述载板(2)上,两个所述夹爪(313)均转动配合在所述载板(2)上,所述弹簧(312)的一端与所述夹爪(313)连接,所述弹簧(312)的另一端与所述安装块(311)连接。

5.根据权利要求1所述的一种LED晶圆环的夹紧及旋转装置,其特征在于:所述底板(1)上设有感应器(13),所述载板(2)上设有与所述感应器(13)相适配的感应片(14)。

6.根据权利要求1所述的一种LED晶圆环的夹紧及旋转装置,其特征在于:所述旋转机构(4)包括驱动电机(41)、同步轮(42)、同步带(43)、导轨(44)、安装板(45)和滚轮(46),所述驱动电机(41)设于所述底板(1)上,所述驱动电机(41)通过所述同步带(43)与所述同步轮(42)传动连接,所述导轨(44)设于所述同步轮(42)的底部,所述安装板(45)设于所述底板(1)上,所述滚轮(46)转动配合在所述安装板(45)上并且所述滚轮(46)与所述导轨(44)转动配合。

7.根据权利要求6所述的一种LED晶圆环的夹紧及旋转装置,其特征在于:所述旋转机构(4)包括至少三个所述滚轮(46),所有所述滚轮(46)配合设置在所述导轨(44)的周边上。

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