[实用新型]一种具有烘干功能的半导体蚀刻机

权利要求书

1.一种具有烘干功能的半导体蚀刻机，包括蚀刻机本体（1），其特征在于：所述蚀刻机本体（1）底部中轴线处设有水泵（2），所述水泵（2）输出端设置有进液管（3），所述进液管（3）的数量设置为两个，两个所述进液管（3）位于蚀刻机本体（1）外壁两侧；

所述蚀刻机本体（1）外壁两侧均设有储水箱（4），两个所述储水箱（4）关于蚀刻机本体（1）中轴线处对称设置，所述进液管（3）贯穿储水箱（4）延伸至储水箱（4）内壁底端，所述储水箱（4）内壁设有喷头（5），所述喷头（5）的数量设置为多个，所述喷头（5）贯穿蚀刻机本体（1）延伸至蚀刻机本体（1）内壁；

所述蚀刻机本体（1）内壁底端设有导流台（9），所述导流台（9）内壁两侧为倾斜设置，所述导流台（9）底部两侧均设有循环导管（10），所述循环导管（10）贯穿导流台（9）延伸至蚀刻机本体（1）底部，所述循环导管（10）与进液管（3）固定连接，所述导流台（9）顶部设有支撑板（12），所述支撑板（12）内壁开设有通孔（13），所述通孔（13）的数量设置为多个，所述支撑板（12）顶部中轴线处设有螺杆（14），所述螺杆（14）外壁活动套接有固定板（21），所述固定板（21）顶部两侧均设有放置台（22）；

所述蚀刻机本体（1）内壁顶端设有加热箱（16），所述蚀刻机本体（1）顶部一侧设有风机（17），所述风机（17）输出端设置有导风管（18），所述导风管（18）贯穿蚀刻机本体（1）延伸至加热箱（16）内壁一侧，所述加热箱（16）内壁底端开设有排风口（19），所述排风口（19）的数量设置为多个，所述加热箱（16）内壁设有电热丝（20）。

2.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体蚀刻机，其特征在于：所述喷头（5）外壁两侧均设有定位块（7），所述定位块（7）与蚀刻机本体（1）内壁固定连接，所述喷头（5）外壁两侧均设有转轴（6），所述转轴（6）贯穿定位块（7），所述转轴（6）内壁螺纹连接有固定螺栓（8）。

3.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻机本体（1）内壁远离循环导管（10）一侧设有排液管（11），所述排液管（11）位于导流台（9）顶部一侧，所述螺杆（14）贯穿加热箱（16），所述螺杆（14）与加热箱（16）连接处设有第二轴承。

4.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体蚀刻机，其特征在于：所述螺杆（14）贯穿蚀刻机本体（1）延伸至蚀刻机本体（1）顶部，所述螺杆（14）与蚀刻机本体（1）和支撑板（12）连接处均设有第一轴承，所述蚀刻机本体（1）顶部中轴线处设置有电机（15），所述电机（15）输出轴与螺杆（14）相对应。

5.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体蚀刻机，其特征在于：所述放置台（22）截面形状设置为U形，所述放置台（22）内壁一侧设有紧固板（23），所述紧固板（23）外壁一侧设有调节螺栓（24），所述调节螺栓（24）贯穿放置台（22）延伸至放置台（22）外壁一侧，所述调节螺栓（24）与放置台（22）连接处设有第三轴承。

6.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻机本体（1）底部设有底座（26），所述底座（26）顶部四角处均固定连接有支撑柱（27），所述支撑柱（27）与蚀刻机本体（1）固定连接，所述蚀刻机本体（1）内壁一侧交接有密封门（25）。