[实用新型]一种多晶硅基体金属消解加热装置

权利要求书

1.一种多晶硅基体金属消解加热装置，其特征在于，包括加热盘(10)、控制台(20)、传动机构(30)以及内设容纳空间的通风橱(40)，所述加热盘(10)通过其底部的转轴(11)可转动地设置在所述控制台(20)上，所述传动机构(30)连接所述转轴(11)以驱动所述加热盘(10)绕其轴心旋转；所述加热盘(10)的上表面设有多个样品放置区域(101)，所有的所述样品放置区域(101)沿周向间隔地设置在所述加热盘(10)上的与所述转轴(11)同轴的同一个圆周上；所述加热盘(10)设于所述通风橱(40)内，且所述通风橱(40)的顶部开设有正投影落于所述样品放置区域(101)所在的所述圆周上的试剂加入孔(400)。

2.根据权利要求1所述的多晶硅基体金属消解加热装置，其特征在于，所述传动机构(30)包括驱动马达(31)、连接所述驱动马达(31)的主动齿轮(32)以及固定在所述转轴(11)上、与所述主动齿轮(32)啮合的从动齿轮(33)，所述驱动马达(31)固定在所述控制台(20)上，用于驱动所述主动齿轮(32)转动，以带动所述加热盘(10)旋转。

3.根据权利要求2所述的多晶硅基体金属消解加热装置，其特征在于，所述控制台(20)容纳于所述通风橱(40)内。

4.根据权利要求3所述的多晶硅基体金属消解加热装置，其特征在于，还包括设于所述通风橱(40)外的线控装置(50)，所述通风橱(40)的侧壁开设有过线孔，所述传动机构(30)的信号线穿过所述过线孔后与所述线控装置(50)连接。

5.根据权利要求1所述的多晶硅基体金属消解加热装置，其特征在于，所述试剂加入孔(400)为多个，间隔地设置在所述通风橱(40)的顶部。

6.根据权利要求1所述的多晶硅基体金属消解加热装置，其特征在于，所述控制台(20)包括顶板(21)和自所述顶板(21)背向所述加热盘(10)延伸的筒状侧壁(22)，所述筒状侧壁(22)的底部固定在所述通风橱(40)的底板上，与所述顶板(21)配合将所述传动机构(30)包围于其中。

7.根据权利要求1所述的多晶硅基体金属消解加热装置，其特征在于，所述通风橱(40)的左右两侧侧壁上分别开设有进气孔(41)和排气孔(42)。

8.根据权利要求1～7任一所述的多晶硅基体金属消解加热装置，其特征在于，所述加热盘(10)还包括设于其上表面的对位标记(100)，所述通风橱(40)的顶部内表面固定有传感器，所述传感器与所述对位标记(100)正对时，所述试剂加入孔(400)与其中一个所述样品放置区域(101)正对。